Silikonový podstavec

Semicorex Silicon Pedestal, často přehlížená, ale kriticky důležitá součást, hraje zásadní roli při dosahování přesných a opakovatelných výsledků v procesech difúze polovodičů a oxidace. Specializovaná platforma, na které spočívají křemíkové čluny ve vysokoteplotních pecích, nabízí jedinečné výhody, které přímo přispívají ke zvýšené rovnoměrnosti teploty, zlepšené kvalitě plátků a v konečném důsledku k vynikajícímu výkonu polovodičových zařízení.**

Odeslat dotaz

Popis výrobku

1. Semicorex Silicon Pedestal stabilizující procesní prostředí pro optimální výsledky:

Vytvoření stabilního základu pro křišťálové lodě:Silikonový podstavec poskytuje robustní a tepelně stabilní platformu pro křemíkové čluny v komoře vysokoteplotní pece. Tato stabilita zajišťuje, že si lodě udrží svou polohu a orientaci během celého procesu, čímž se zabrání nežádoucímu pohybu nebo naklonění, které by mohlo narušit dynamiku proudění plynu a narušit rovnoměrnost teploty.

Zlepšení rovnoměrnosti teploty v reakční komoře:Efektivní izolací silikonového člunu od dna a stěn pece minimalizuje silikonový podstavec tepelné ztráty vedením a podporuje rovnoměrnější rozložení teploty v tepelné reakční trubici. Tato vylepšená schopnost tepelného managementu je zásadní pro dosažení konzistentních a opakovatelných difúzních nebo oxidačních profilů po celém povrchu plátku.

Zvýšení účinnosti izolace pro optimalizované využití energie:Vlastní tepelně izolační vlastnosti silikonového podstavce přispívají k energeticky účinnějšímu procesu minimalizací tepelných ztrát do okolního prostředí. To se promítá do rychlejších cyklů ohřevu a chlazení, snížení spotřeby energie a v konečném důsledku nižších celkových nákladů na zpracování.

2. Synergie materiálu pro vynikající kvalitu oplatky:

Odpovídající tepelná roztažnost pro snížení napětí plátků:Křemíkový podstavec, vyrobený ze stejného vysoce čistého křemíkového materiálu jako samotné čluny a destičky, nabízí zásadní výhodu oproti alternativním materiálům, jako je křemen nebo karbid křemíku. Tato materiálová synergie zajišťuje, že se podstavec, člun a pláty roztahují a smršťují téměř stejnou rychlostí během cyklů ohřevu a chlazení, čímž se minimalizuje riziko tepelného namáhání, prohnutí plátku a krystalografických defektů, které mohou negativně ovlivnit výnos a výkon zařízení.

Minimalizace kontaminace a nesouladu mřížky:Použití vysoce čistého křemíku pro křemíkový podstavec i člun eliminuje možnost kontaminace z různých materiálů a zajišťuje nedotčené prostředí pro zpracování plátků. Tato materiálová kompatibilita také minimalizuje riziko nesouladu mřížky na rozhraní plátek-loď, což dále přispívá ke zlepšení kvality krystalů a snížení hustoty defektů.