Pevná žebra z karbidu křemíku

Pevný Semicorexžebra z karbidu křemíkuse obvykle instalují jako tepelně izolační komponenty uvnitř vertikálních trubek pecí zařízení pro tepelné zpracování polovodičů, jako jsou žíhací pece RTP a difúzní pece. Pevná žebra z karbidu křemíku Semicorex mohou účinně regulovat rozložení teploty ve vysokoteplotních pecích a minimalizovat tepelné poškození součástí těsnění procesních dvířek způsobené vysokými teplotami. V provozních podmínkách mokré oxidace mohou být žebra Semicorex z pevného karbidu křemíku použita k účinné prevenci negativních dopadů na výsledky procesu a polovodičových zařízení způsobených kondenzací vodní páry při relativně nízkých procesních teplotách.

Výhody pevných žeber Semicorex z karbidu křemíku

1. Vynikající odolnost proti opotřebení

CVD SiC se vyznačuje polykrystalickou kubickou krystalickou strukturou s mimořádnou tvrdostí, která je na druhém místě za diamantem. Této vlastnosti je přisuzována vynikající odolnost proti opotřebení žeber Semicorex z karbidu křemíku, díky nimž odolávají otěru při manipulaci a výměně.

2. Vynikající schopnost tepelného managementu

CVD SiC poskytuje vynikající tepelnou odolnost a vysokoteplotní stabilitu, která se netaví ani neměkne při teplotách až do zhruba 2000 °C a udržuje si stabilitu před sublimací za ultravysokých teplot. Díky těmto vynikajícím tepelným vlastnostem jsou pevná žebra Semicorex z karbidu křemíku velmi vhodná pro náročné podmínky zpracování polovodičového tepelného zpracování.

3. Ultra vysoká čistota

CVD-SiCse vyrábí bez slinovacích přísad během procesu nanášení. Ve srovnání s konvenčním reakčním karbidem křemíku se vyznačuje mnohem vyšší čistotou, dosahující více než 99,9995 %. To účinně zabraňuje kontaminaci pevných žeber Semicorex z karbidu křemíku kovovými nečistotami způsobené vysokými teplotami v procesním prostředí, což dokonale splňuje požadavky na čistotu pokročilé výroby polovodičů.

4. Spolehlivá odolnost proti korozi

Pevná žebra z karbidu křemíku Semicorex mohou odolat vysoce oxidujícím a silně kyselým procesním plynům používaným v procesech tepelného zpracování polovodičů, a to díky výjimečné chemické inertnosti CVD SiC při vysokých teplotách. Tato spolehlivá odolnost proti korozi účinně prodlužuje jejich životnost a snižuje náklady na výměnu součástí.

5. Přesná přesnost obrábění

Aby byla zajištěna kompatibilita s různými pecními trubkami, může společnost Semicorex upravit plná žebra z karbidu křemíku podle požadavků zákazníka na průměr, tloušťku, velikost otvoru, rovinnost a rozměrové tolerance. Tato vysoce standardní přesnost obrábění zaručuje stabilní provoz žeber v zařízení a pomáhá optimalizovat celkovou účinnost aplikací tepelného zpracování polovodičů.