SiC Fin

Semicorex SiC Fin je vysoce výkonný komponent vyrobený zkeramika z karbidu křemíku, je určen pro použití v polovodičových epitaxních a leptacích systémech. SiC Fin, navržený jako kruhový kotouč ve tvaru kusu s různými vyvrtanými otvory různých průměrů, je kritickým komponentem pro materiály se vzorováním proudění a odvod plynů nebo kapalných odpadních látek během vysokoteplotního nebo plazmového zpracování. Díky své strukturální výkonnosti, vynikající odolnosti proti korozi a vysoké tepelné stabilitě je SiC Fin rozhodující pro pokročilou výrobu polovodičů.

SiC Fin se vyrábí z vysoce čistéRekrystalizovánoprášek pomocí pokročilých procesů tváření a slinování. Má tedy vynikající mechanickou pevnost a stabilitu při vysokých tepelných a chemických podmínkách. Jedinečné fyzikální vlastnosti karbidu křemíku, jako je vysoká tvrdost, nízká tepelná roztažnost a vynikající chemická inertnost, umožňují, aby Fin byl strukturální komponentou v prostředí vysokoteplotního plazmatu nebo reaktivního plynu, které jsou charakteristické pro procesy EPI a leptání.

Disková struktura součásti, doplněná přesně vyvrtanými otvory, umožňuje řízené toky plynů a kapalin skrz procesní komory. V závislosti na aplikaci lze otvory nakonfigurovat tak, aby řídily tok vedlejších produktů nebo odvodnění pro čisté a stabilní prostředí během procesu waferů. Například při epitaxní aplikaci může SiC Fin napomáhat při usměrňování procesních plynů nebo toků kondenzátu, čímž se zvyšuje jednotnost filmu a minimalizuje se kontaminace částicemi. V leptacích nástrojích je účinný pro bezpečné a účinné odstraňování reaktivních látek a kapalných vedlejších produktů, které chrání citlivé součásti komory před chemickou degradací.

Každý Semicorex SiC Fin je vyroben s velmi úzkými tolerancemi a leštěn, aby poskytoval vynikající rovinnost povrchu a rozměrovou přesnost. Tato výrobní přesnost zajišťuje spolehlivý výkon při integraci do komplikovaných systémů a zachování konzistentní funkčnosti po dlouhou dobu provozu. SiC Fin je kompatibilní se všemi konstrukcemi reaktorů a může být vyroben na zakázku v průměru, tloušťce a vzoru otvorů, aby vyhovoval potřebám zákazníků. Semicorex může nabídnout vlastní návrhy pro optimalizaci výkonu pro proměnné procesu, jako je průtok, geometrie komory a teplota.

Kromě své všestranné funkčnosti má SiC Fin výjimečnou odolnost a dlouhou životnost ve srovnání s jinými materiály. Je vysoce odolný vůči oxidaci, plazmové erozi a chemické korozi, což snižuje frekvenci výměny vašich dílů a zkracuje prostoje systému. Tepelná vodivost karbidu křemíku navíc umožňuje schopnost odvádět teplo pro řízení teplotních gradientů v zařízení, čímž se zabrání nežádoucímu zkroucení nebo prasknutí během rychlého cyklování teplot.

Semicorex používá pokročilékeramickýschopnosti zpracování a CVD povlaku poskytují nejvyšší čistotu a konzistenci vyrobených SiC Fin. Každý SiC Fin je také kontrolován na hustotu, stejnoměrnost mikrostruktury a dokonalost povrchu, aby bylo zajištěno, že splňuje náročné požadavky polovodičového průmyslu. Výsledkem je součást, která má mechanickou integritu a robustnost pro stabilní a dlouhodobý provoz v extrémních prostředích.

Semicorex SiC Fin je výsledkem nejmodernější vědy o materiálech a inženýrské technologie. Nejen, že zajišťuje efektivní proudění výfukových plynů a kapalin, ale přispívá k čistotě a spolehlivosti celého epitaxního a leptacího systému. Kombinuje mechanickou pevnost, tepelnou stabilitu a odolnost proti korozi a poskytuje konzistentnější zkušenosti pro aplikace zpracování polovodičů.