Náhradní díly v epitaxním růstu

Náhradní díly Semicorex v epitaxním růstu jsou naprosto zásadní, zejména pro procesy, které zahrnují nastavení křemenných trubic. Tyto části jsou nezbytné pro usnadnění proudění plynu pro pohon rotace základny podnosu a zajišťují přesné řízení teploty během procesu epitaxního růstu. Náhradní díly Semicorex v epitaxním růstu, hovorově známé jako poloviční díly, jsou pečlivě navrženy tak, aby vydržely vysoké teploty a korozivní prostředí, které je vlastní epitaxním růstovým komorám. Jsou vyrobeny z karbidu křemíku (SiC) a nabízejí výjimečnou tepelnou a chemickou stabilitu, díky čemuž jsou ideální volbou pro takto náročné aplikace. Použití SiC zajišťuje, že tyto díly jsou schopny odolat i těm nejnáročnějším podmínkám.

Náhradní díly v epitaxním růstu připomínají tvar srpku měsíce, který je navržen tak, aby těsně zapadl do sestavy křemenné trubice. Jejich jedinečná konfigurace půlměsíce umožňuje jejich snadné vkládání a vyjímání ze systému, což usnadňuje údržbu a postupy výměny s účinností a přesností.

Náhradní díly v epitaxním růstu slouží více účelům. Za prvé, pomáhají při řízeném dodávání plynů nezbytných pro proces epitaxního růstu. Regulací průtoku a distribuce plynu zajišťují rovnoměrné ukládání polovodičových materiálů na povrch substrátu, což je klíčové pro dosažení požadovaných vlastností materiálu a výkonu zařízení.

Náhradní díly v epitaxním růstu přispívají k rotačnímu pohybu podnosu v růstové komoře. Tato rotace je stěžejní pro podporu rovnoměrného rozložení nanesených materiálů, předcházení vzniku nepravidelností nebo defektů v epitaxních vrstvách.