Disk přijímače

Semicorex Susceptor Disc, vyrobený z vysoce čistého grafitu a potažený vrstvou karbidu křemíku (SiC) pomocí techniky MOCVD, kombinuje výjimečné tepelné vlastnosti s pozoruhodnou chemickou stabilitou. Povlak z karbidu křemíku zajišťuje vynikající odolnost vůči vysokým teplotám a korozním podmínkám, což je klíčové pro zachování integrity susceptorového disku v náročných prostředích.

Navíc povlak SiC na susceptorovém disku zvyšuje jeho tepelnou vodivost, což umožňuje rychlou a rovnoměrnou distribuci tepla kritickou pro konzistentní epitaxní růst. Účinně absorbuje a vyzařuje teplo a poskytuje stabilní, rovnoměrnou teplotu, která je nezbytná pro nanášení tenkých vrstev. Tato jednotnost je zásadní pro dosažení vysoce kvalitních epitaxních vrstev, které jsou zásadní pro funkčnost a výkon pokročilých polovodičových zařízení.

Konstrukce susceptorového disku také řeší problém tepelné roztažnosti. Jeho minimální koeficient tepelné roztažnosti zajišťuje silnou vazbu s epitaxními vrstvami a snižuje riziko praskání v důsledku tepelného cyklování. Tato funkce spolu s vysokým bodem tání a vynikající odolností proti oxidaci susceptorového disku umožňuje spolehlivý provoz v extrémních podmínkách.

Díky těmto pokročilým vlastnostem susceptorový disk nejen splňuje, ale dokonce překračuje přísné požadavky moderních aplikací MOCVD a poskytuje spolehlivé, vysoce výkonné řešení, které zvyšuje celkovou účinnost a výstup procesu epitaxního růstu.