Vakuové sklíčivo AL2O3

Pomicorex al₂o₃ vakuové sklíčivo jsou přesné mikroporézní keramické komponenty vyvinuté pro aplikaci pro manipulaci, fixaci a zpracování oplatky v polovodičovém průmyslu. Vyrobeno z černé aluminy s kontrolovanou porozitou 35%-40%, jedná se o extrémně stabilní, čisté a spolehlivé médium pro vakuové adsorpční procesy. Chuck kombinuje keramické zpracování substrátu na funkční povrch pomocí pokročilých výrobních technik, aby poskytlo konzistentní sací výkon pro křehkou oplatku uživatele během kritických procesů.

ČernýAlumina (al₂o₃);; Má jedinečnou rovnováhu mechanické pevnosti, tvrdosti a chemické odolnosti ve srovnání s kovy a polymery. Mikroporézní struktura je optimalizována pro kontrolovanou pórovitost, aby poskytla konzistentní distribuci vakua na povrchu vakuového upínače. Konzistentní distribuce vakua v celé povrchové ploše destičky Chuck minimalizuje lokalizované koncentrace napětí a omezuje riziko zkreslení oplatky, štěpkování okrajů a rozbití. Vzhledem k tomu, že výroba oplatky se stále zvyšuje průměr a geometrie a zařízení se stávají křehčí, výnos z procesu a zlepšená spolehlivost manipulace s oplatkou se stává kritickými požadavky.

Kontrolovaná porozita 35–40% představuje klíčovou charakteristiku tohoto vakuového sklíčidla. Optimalizovaná pórová síť může minimalizovat turbulence během evakuace vzduchu z oblasti pórů a udržovat udržovací sílu při zachování mechanické síly a trvanlivosti. Naproti tomu mechanické svorky používají destičky, které způsobují lokalizované napětí a pracují proti mechanickým vlastnostem jednotlivé oplatky. Mikroporézní povrch oxidu hlinitého je proto během mechanických přístupů lepší v držení oplatků plochých a nesouhlasných. To umožňuje perfektního kandidáta na špičkové polovodičové procesy, které těží z plochnosti a hladkého držení, včetně litografie, leptání, depozice a metrologie.

Z tepelného hlediska má materiál černého aluminy vynikající tuto schopnost udržovat rozměrovou stabilitu během zvýšené teploty. S nízkým koeficientem tepelné roztažnosti je vakuové sklíčidlo schopen zůstat přesný i během cyklů zahřívání a chlazení, což je kritický aspekt v důsledku rychlé kolísání teploty, která se často vyskytuje v prostředích zpracování oplatky. Odolnost tvrdosti a opotřebení této keramiky také zvyšuje životnost sklíčidla, snižuje frekvenci údržby provozovatelů zařízení a snižuje celkové náklady na vlastnictví.

Chemická inertnost keramiky oxidu alumina je další podstatnou vlastností. U polovodičových Fabs musí komponenty zařízení tolerovat agresivní chemikálie, čisticí prostředky nebo plazmatické prostředí bez zhoršení. Černá alumina má vynikající vlastnosti pro odolnost proti korozi, oxidaci a/nebo kontaminaci povrchu, a tím si zachovává strukturu a strukturální/fázovou stabilitu během excitovaného období provozního cyklu. Tato nemovitost také znamená, že oplatky nejsou podrobeny kontaminaci, která chrání obvod před tím, jak tato zařízení provádějí, a také důvěřuje protokolům čisté místnosti.

Vakuové sklíčivo Al₂o₃ vykazují nejen vynikající funkční výkon, povrchová úprava je také pevně kontrolována. Povrch je vytvořen pomocí procesů vysoce přesné obrábění a leštění, které poskytují rovnoměrnou rovinnost a hladkost, aby bylo možné udržovat jemné oplatky bez škrábanců nebo poškození povrchu. Vysoce upravená porozita materiálu poskytuje vhodnou rovnováhu mezi sání a povrchovou ochranou, což umožňuje dostatečnou drcovací sílu na oplatce, přičemž se zabrání jakýmkoli poškozením tenkých křehkých substrátů.

Z provozního hlediska jsou vakuové sklíčičky Al₂o₃ kritickou součástí současné výroby polovodičů. Usnadňuje automatizaci, což umožňuje, aby se oplamy vybraly, umístily, zarovnali a zpracovávali, spolehlivě splňují požadavky na proces. Černá barva Alumina také pomáhá a poskytuje pragmatické výhody snížením odrazu světla během optických inspekcí a procesů měření, zejména tam, kde se používá vysokotěsná optická zařízení.

Kombinace pokročilé keramické technologie s dobře zvažovaným designem přineslo ve vakuových sklíčich Al₂o₃ dlouhodobé vysoce výkonné řešení pro výzvy pro manipulaci s oplatky polovodičů. Vakuové upínače al₂o₃ zlepšují produktivitu sníženou ztrátou oplatky, sníží prostoje v důsledku trvanlivosti a zvyšuje stabilitu procesu poskytnutím konzistentní síly zadržení vakua.

Polokorex al₂o₃ vakuové sklíčivo vyrobené z mikroporézní černéAluminaje více než jen příslušenství; Je to kritický aktivátor přesné polovodičové výroby. S jeho optimalizovanou porozitou, výjimečnými vlastnostmi materiálu a robustním výkonem zajišťuje spolehlivé manipulace s oplatkou napříč nejnáročnějšími výrobními procesy. Pro výrobce, kteří se snaží dosáhnout vyššího výnosu, zlepšení účinnosti procesu a výkonného výkonu vybavení, je Black Alumina vakuová sklíčidla nepostradatelnou volbou.