Sklíčidla z karbidu křemíku Semicorex jsou speciálně navržena pro fotolitografická zařízení a mají mnoho výhod, jako je vysoká přesnost, ultralehká hmotnost, vysoká tuhost, nízký koeficient tepelné roztažnosti a vynikající odolnost proti opotřebení.
Semicorexsklíčidla z karbidu křemíkujsou funkční adsorpční zařízení vyrobená zRekrystalizováno(SiC) keramický materiál. Používají se hlavně v polovodičích, fotovoltaice, přesné výrobě a dalších scénářích, které mají extrémně vysoké požadavky na odolnost vůči vysokým teplotám, odolnost proti opotřebení, odolnost proti chemické korozi a čistotu materiálů.
Keramický materiál SiC má vysokou teplotní odolnost a zachovává si strukturální stabilitu v prostředí s vysokou teplotou. Jeho vynikající tepelná vodivost umožňuje rychle odvádět teplo vznikající při adsorpci, čímž zabraňuje přehřátí obrobku. Díky výjimečné tvrdosti je materiál vhodný pro uchopení hrubých nebo tvrdých obrobků. Chemická inertnost keramického materiálu SiC ho navíc činí odolným vůči korozi silnými kyselinami, silnými zásadami a organickými rozpouštědly. Nízká účinnost srážení nečistot tohoto materiálu zabraňuje kontaminaci nečistotami a prodlužuje normální provozní dobu zařízení, čímž splňuje požadavky na ultračisté polovodiče.
Typické vlastnosti sklíčidel z karbidu křemíku Semicorex
1.Vysoká přesnost: rovinnost je 0,3-0,5μm.
2.Leštění zrcadel
3. Ultra nízká hmotnost
4.Vysoká tuhost
5. Nízký koeficient tepelné roztažnosti
6. Vynikající odolnost proti opotřebení
Scénáře použití sklíčidel z karbidu křemíku
Výroba polovodičů
Přenos a zpracování plátků: Při procesech, jako je fotolitografie a leptání, musí být plátek stabilně adsorbován ve vakuovém prostředí, aby se zabránilo chybám při přemístění.
Odolnost proti korozi plazmy: V procesu leptání polovodičů může vynikající odolnost proti korozi prodloužit životnost produktu.
Výroba fotovoltaických článků
Řezání křemíkových plátků: Adsorbuje křemíkové pláty, aby odolávaly vibracím při řezání a snižovaly rychlost fragmentace křemíkových plátků.
Výroba přesné optiky a elektroniky
Zpracování safírového substrátu: Safírové substráty používané při výrobě LED čipů vyžadují vakuovou adsorpci. Adsorpční síla musí překonat hmotnost podkladu a zabránit poškrábání povrchu produktu.
Sklíčidla z karbidu křemíku se stala klíčovým spotřebním materiálem v oblasti špičkové výroby díky svému vynikajícímu výkonu, který podporuje technologický pokrok v průmyslových odvětvích, jako jsou polovodiče, fotovoltaika a přesná výroba.