Porézní hlinité sklíčivo

Semicorex porézní alumina sklíčidla jsou účelem pro nejjemnější oplatky. Jejich porézní design poskytuje jistotu konzistentního rozložení vakua přes povrch sklíčidla, což zajišťuje snížené lokalizované napětí a pomáhá při prevenci štípání a rozbití hrany. Mechanické upínání (pevné nebo jiné) není tak účinné jako mikroporézní síť, která drží dokonce jemné oplatky bez omezujícího mechanického napětí a zároveň bezpečně upevňuje oplatku, protože mikroporézní struktura zabraňuje opotřebení a poskytuje jemné držení. Potřeba jednotné adsorpce na celém povrchu sklíčidla je obzvláště kritická pro oplatky, které jsou větší a tenčí, které mohou během automatizované manipulace tolerovat mnohem méně napětí a při provádění kroků s vysokou přesností.

Chuck, optimalizován pro 35-40% porozitu, vyvine síť propojujících pórů, které slouží k evakuaci vzduchu a zároveň poskytují dostatečnou mechanickou sílu pro udržení oplatky na místě proti procesům procesních sil. To znamená, že vakuová síla držení zůstává stabilní při pohybu oplatků, dokonce i v rychlém sledu, při provádění komplexní sekvence procesu. Adsorpce v mikroporézní síti poskytuje větší stabilitu než pouhým vytvářením rozdílů v tlaku ve vakuovém systému.

Samotná černá alumina (al₂o₃) je konečným materiálem, protože je tvrdý, odolný proti opotřebení a chemicky inertní. Nezhodí žádný značný povrch a není ovlivněn opakovanými cykly oplatky (umístění/ vakuové adsorpce/ chlazení). ČernáAluminaje rozměrně stabilní, proto se nezmění navzdory změnám teploty, ke kterým dochází přirozeně během procesu (zahřívání a chlazení) nebo v prostředí.

Chemická odolnost je další klíčovou výhodou černé alumina. Chuck může pracovat v agresivním prostředí čištění, plazmy a leptání, aniž by ohrozilo jeho strukturální integritu. Jeho inertnost zabraňuje kontaminaci povrchu oplatky a zajišťuje vysokou čistotu procesu a dodržování standardů čistého pokoje.

Mikroporézní struktura také nabízí podpůrný povrch, který uvolňuje koncentraci napětí na tenkých a křehkých oplatich. V tandemu s přesnou povrchovou rovinností a hladkým povrchovým povrchem budou porézní aluminové upínače minimalizovat výskyt mikrotorií a škrábanců, které by mohly ohrozit integritu oplatky v ruce.

Alumina keramikamá vynikající tvrdost, vysokou mechanickou pevnost, nízký tepelný koeficient expanze a vynikající tepelnou stabilitu, což z něj činí praktický materiál pro přesnou polovodičovou aplikaci. Také jeho chemická inertnost znamená, že dokáže odolávat kyselinám, alkalisům a plazmě, zatímco vlastnosti odolnosti opotřebení zajišťují trvanlivost, tyto výhody činí alumina materiálem volby pro mikroporézní vakuové upínače a poskytuje spolehlivost a předvídatelnost výkonu.

Závěrem lze říci, že porézní aluminové upínače jsou navrženy tak, aby dodávaly uniformní a přežívající manipulaci s oplatkou. Jeho mikroporézní struktura černé aluminy nabízí dokonce vakuovou adsorpci (uniformita) při minimalizaci mechanického napětí a snížení poškození oplatky. Jako sklíčidlo pomáhá podstatná a optimální porozita společně s vynikajícími tepelnými, mechanickými a chemickými vlastnostmi optimalizovat bezpečnost, hodnotu a spolehlivost provozu v drsných podmínkách výroby. Vynikající kombinace robustního, uniformního a bezpečného manipulace, kterou mohou porézní aluminové upínače nabídnout výrobci, jsou jednoduše vzácné a jedinečné.