Keramická rameno oxidu hlinité

Semicorex Alumina keramic ARM je konstruovaná součást, která je vyvinuta podle nejvyšších specifikací pro polovodičové aplikace. Vyrobeno z vysoce čistého aluminy (al₂o₃), je to robotická rameno, která má jedinečnou kombinaci mechanické pevnosti, tepelné stability a chemické odolnosti. Rameno není navrženo pouze pro použití pouze pro manipulaci s oplatkou, ale také musí poskytnout podporu procesu na pokročilých výrobních místech. Musí také zajistit, aby byly oplamy přenášeny, umístěny a zpracovány bez kontaminace nebo poškození; Zlepšení výnosů a spolehlivosti procesu.

Aluminaje jednou z technické keramiky, která najde nejširší použití v technické keramické oblasti. Alumina je známá svou tvrdostí, odolností proti opotřebení a stabilitou v agresivním prostředí. Aby cíle keramické ramene řídila manipulaci s oplatkou bez zavedení kontaminace, může využít vlastnosti aluminy a poskytnout mnohem vyšší úroveň odolnosti vůči otěru v důsledku jeho vysoké čistoty a velikosti částic; Proto nebude generovat nadměrné částice během opakovaných pohybů, a to buď pomocí oplatek, nebo s polovodičovými substráty jakéhokoli jiného druhu.  Hustota a nízká pórovitost, kterou také hostí, dále omezuje potenciál uvolnění částic a zajišťuje, že splňuje ultra čisté požadavky na vývoj polovodičů, aniž by to snižovalo čistotu potřebnou pro manipulaci s submikron zařízeními.

Aluminamá kromě mechanické pevnosti výjimečnou tepelnou stabilitu. Ošpinákové rameno oxidu hliníku může vydržet extrémní teploty procesu bez deformace, praskání nebo ztráty síly. Tato vlastnost je ideální pro začlenění do jakéhokoli procesního kroku, který zahrnuje vystavení zvýšeným teplotám, jako je difúze, oxidace nebo žíhací kroky. Oplaky budou mít zlepšenou spolehlivost pro přenos v náročném procesním prostředí, protože si zachovává mechanickou integritu při tepelném cyklování.

Chemická rezistence je další základní pozitivní pozitivní na aluminové keramické rameno. Při výrobě polovodičů se ošetření často provádí na oplatkách, které zahrnují silné kyseliny, alkaliky a další agresivní chemikálie. Zatímco kovové složky mohou korodovat nebo vyluhovat nečistoty, alumina je chemicky inertní, což chrání integritu paže i oplatků, které zpracovává. Proto ivarta prodlužuje životnost složky a zároveň snižuje možnost kontaminace během kritických procesů, jako je čištění mokré nebo chemické depozice páry.

Kramická rameno oxidu hlinitého je navržena se zaměřením na kompatibilitu a přesnost. Každé rameno je vyrobeno na těsné rozměrové tolerance, zajišťuje přesné vyrovnání oplatky a pohyb a kompatibilitu s automatizovaným zařízením pro manipulaci s oplatkou a robotickými systémy. Hladká, leštěná povrchová úprava je vybavena rozhraním s nízkým třením s oplatkou, která snižuje šanci na poškrábání oplatky, což je nezbytné pro integritu oplatky/čistotu životního prostředí a snížení rychlosti vad. Tyto inženýrské tolerance zajišťují, že rameno volně pracuje v rychle se rozvíjejícím prostředí s vysokou propustností a umožňuje lidské i plně automatizované polovodičové pracovní postupy pro rameno.

Kramické rameno oxidu hliníku dosahuje jen chemického a mechanického výkonu a ovlivňuje provozní účinnost a úspory nákladů na více úrovních. Osvědčená odolná povaha keramiky umožňuje ARM překonat kompozitní materiály, jako jsou plasty nebo hliník, pokud jde o designovou dlouhověkost při opakovaném mechanickém zatížení, a proto snižuje množství provozních prostojů a/nebo souvisejících nákladů na výměnu. Schopnost odolat drsnému prostředí zahrnuje čistotu životního prostředí a zároveň produkuje méně přerušení výroby, což vede ke zlepšení konzistentní produkce oplatky, tj. Výnos a nakonec méně šrotu vedoucí k vyšší návratnosti investic (návratnost investic) pro polovodičové výrobce.

Možnosti pro využitíAlumina keramikaARM pro polovodičové procesy jsou prakticky nekonečné - od pohybujících se oplatků mezi mokrými lavicemi, difúzními pecemi a depozičními komorami po inspekci a metrologické nástroje využívající substráty. Všestrannost tohoto produktu umožňuje nejen být použity pro aplikace pro manipulaci s oplatkou, ale také další automatizační situace, kdy je vyžadována přesnost, čistota a spolehlivost, jsou také proveditelné. Polovodičový průmysl se neúprosně pohybuje směrem k menším uzlům a zvýšenou složitost v rámci výroby zařízení a jak průmysl nadále vyžaduje lepší řešení pro manipulaci, která jsou spolehlivá a nekontaminující, keramické robotické rameno vytváří jasnou cestu vpřed.