Sic prsty

Polomicorex sic prsty jsou specializované části, jejichž primární aplikace jsou v polovodičovém zpracovatelském zařízení, konkrétně v systémech pro manipulaci s oplatkou a podpůrnými systémy. Jejich primární funkcí je podpora nebo držení destiček na místě během procesů, jako je epitaxy, iontová implantaci nebo tepelné ošetření, u které je rozměrová stabilita nebo čistota spolu se spolehlivostí, spolu se spolehlivostí. Karbid křemíku kombinuje mechanickou sílu s vynikající tepelnou a chemickou odolností a tyto vlastnosti jsou nezbytné v pokročilých polovodičových výrobních liniích, takže sic prsty jsou v takových aplikacích nezbytné.

Funkce prodejekřemíkový karbidJako materiál je schopnost odolat extrémně vysokých provozních teplotách, aniž by ztratila mechanickou integritu. V polovodičových procesech, jako je epitaxiální růst, zažívají oplatky náhle zvýšené teploty a po delší dobu. SIC prsty, jakmile se zapojí, udržují své zarovnání a sílu během vysokoteplotních cyklů, aby oplamy zůstaly na místě, což minimalizuje pohyb, aby se zabránilo deformaci nebo nesprávné vyrovnání, aby se udržela přiměřená uniformita procesu k dosažení přijatelného výnosu zařízení. Sic prsty poskytují mnohem delší služby než typické keramické nebo kovové podpěry a přitom jsou mnohem konzistentnější při vysokoteplotním zatížení.

Klíčovou výhodou prstů sic je jejich vynikající chemická odolnost. Všechny polovodičové aplikace zahrnují reaktivní plyny, vystavení plazmatům a vystavení korozivním chemikáliím. Korodibilní nebo rozpadlý materiál reaguje uvolněním částic nebo kontaminantů, které mohou zhoršit kvalitu oplatky.Křemíkový karbidMá chemicky inertní povrch, který nebude připevněn nebo reaguje na agresivní chemikálie, produkuje čisté procesní prostředí a výrazně snížené riziko kontaminace. To přispívá k trvanlivosti nástroje pro manipulaci s oplatkou a přímo přispívá ke stabilním a opakovatelným výsledkům procesu, což je rozhodující při výrobě polovodičových zařízení s vysokým výnosem.

Přesnost je dalším klíčovým posouzením při navrhování sic prstu. Manipulace s oplatkou zahrnuje komponenty s extrémně těsnými tolerancemi, mikrometry mohou způsobit nevyrovnanost oplatky, zvýšit potenciál pro rozbití oplatky nebo způsobit nesrovnalosti v procesech. Využitím nejnovější technologie obrábění a leštění lze prsty vyrábět s nejvyššími rozměrovými tolerancemi a povrchovou rovinností a hladkým povrchem. To zaručuje stabilní, relativně setrvačnou platformu pro podporu oplatky se sníženým potenciálem pro tvorbu částic a opakovaným výkonem aplikací pro manipulaci s oplatkou v automatickém zařízení pro zpracování polovodičů.

Kromě výhod základních materiálů sic prstů mohou být také specifické pro to, aby vyhovovaly každému zařízení nebo procesu. Různé velikosti oplatky, různé konstrukce reaktorů a různé manipulace s operátorem vyžadují konkrétní vyrobená řešení. Prsty sic mohou být vyrobeny v jakékoli geometrii nebo dimenzi a povrchové ošetření lze aplikovat jako vhodné pro specifické aplikace.

SIC prsty také snižují provozní náklady v důsledku jejich dlouhého použitelného života (snižování frekvence náhrady) a jejich snížené úpadky v důsledku selhání nebo kontaminace depozice z tepelného nebo chemického stresu. S využitím sic prstů s odolností a spolehlivostí pro výrobce polovodičů vede ke zvýšené dohodě, nižším spotřebním nákladům a celkově zlepšené účinnosti procesu.

Prakticky jsou sic prsty využívány převážně v reaktorech růstu epitaxy, protože poskytují stabilní držení oplatky během extrémních tepelných a chemických procesů. Využívají se také v iontových implantách nebo žíhách s vysokou teplotou, kde je kritická mechanická stabilita a chemická inernty. V rámci aplikací je konzistentní výkon také jejich využití při manipulaci s oplatkou kritickým při zajišťování procesní uniformity, integrity oplatky a kvality.

Semicorex sic prsty, jsou silnými příklady výhodMateriál karbidu křemíku Pro vysokou teplotu, chemikálie odolné, přesné polovodičové komponenty. Materiálové prostředí prstů sic poskytuje vysokou teplotu stabilitu, výjimečnou chemickou odolnost a schopnost vyrábět na standardy s vysokou přesností. Robustní a přizpůsobitelná součást je rozhodující pro dosažení stabilní výroby a zlepšení výnosu a nákladové efektivity pro výrobce polovodičů. SIC prsty jsou i nadále pokročilým a spolehlivým řešením pro FABS zaměřené na stabilitu procesů a zajištění kvality.