Sic paže

Semicorex SIC ARM je specializované zařízení, které bylo vyvinuto pro zpracování oplatků s maximální spolehlivostí a přesností. Ramena přenosu oplatky, stejně jako rameno SIC, se objevují v pokročilém polovodičovém vybavení, jako jsou epitaxiální reaktory, iontové implantační systémy, tepelné zpracování atd. Ramena přenosu oplatky jsou nedílnou součástí přesného pohybu oplatků v komplexním prostředí manipulace s oplatkou, aby se zajistilo bezpečný a přesný přenos zpracovaných vafer. Konstruováno pomocí vysoké čistotykřemíkový karbidv kombinaci s vlastnostmi surovin 

Výjimečná tepelná a chemická stabilita a vynikající kontrola obrábění dělají sic rameno důvěryhodným řešením pro budoucí polovodičovou výrobu.

SIC ARM má výjimečný výkon v extrémním tepelném prostředí. V epitaxiálním růstu a dalších vysokoteplotních procesech mohou být komponenty manipulace s oplatkou podrobeny trvalému teplu, které snadno zhoršuje vlastnosti konvenčního materiálu. Karbid křemíku si zachovává jak přesnost pevnosti, tak rozměru (konečné dimenzionální tolerance) při vysokých teplotách, což zajišťuje, že oplatky mohou zůstat během přenosu nebo zpracování přesně sedící a prakticky eliminovat nevyrovnání oplatky, válku nebo kontaminaci. Keramika s výjimečným výkonem produktu SIC; Stejně jako rameno SIC neoxiduje, narušuje se jako kov, ani nemá vlastnosti výkonu selhání, jako je keramika, což jsou trhliny napětí.

Chemická odolnost je další definující vlastnost paže SiC. V polovodičových prostředích jsou běžné korozivní plyny, reaktivní chemikálie a expozice v plazmě. Manipulační rameno, které se za takových podmínek zhoršuje nejen mechanické selhání, ale také kontaminace oplatků.Křemíkový karbidPoskytuje chemicky inertní povrch, který odolává těmto agresivním podmínkám. Výsledkem je vysoce spolehlivá složka, která udržuje povrchovou integritu a čistotu, chrání oplatky před nečistotami, které by mohly ohrozit výkon zařízení. Tato trvanlivost významně snižuje prostoje zařízení, snižuje frekvenci náhrady a zvyšuje konzistenci procesu.

Kromě své materiálové odolnosti SIC ARM splňuje také vysokou míru přesnosti obrábění. Manipulace s oplatkou vyžaduje přesnost mikrometru; Tolerance, které jsou dokonce mírně mimo specifikaci, mohou způsobit změny v geometrii nebo povrchové úpravě, které mohou způsobit vyšší rizika při zlomení oplatky nebo nesouosočení oplatky. Použitím moderních výrobních technologií se sic zbraně vyrábějí se správnými tolerancemi, rovinností a hladkými povrchy. Být vysoce přesné aplikace je ideální pro zajištění konzistentního umístění oplatků a opakovatelného výkonu během tisíců manipulačních cyklů, což je ideální pro vysoce objemovou polovodičovou produkci, která má náročné specifikace.

Všestrannost je další výhodou sic zbraní. Různé polovodičové nástroje a procesy vyžadují zbraně různých geometrií, velikostí a vzorů. Protože sic ramena mohou být upraveny tak, aby začlenily tyto specifické konstrukční vlastnosti, mohou se snadno zapadnout do široké škály systémů, ať už jde o epitaxiální nástroj, kus zařízení pro implantaci iontů nebo tepelný zpracovatelský reaktor. Povrchové povrchové úpravy, strukturální návrhy a povrchové úpravy mohou být také upraveny a zkonstruovány tak, aby poskytovaly nejlepší výkon s ohledem na konkrétní aplikaci.

SIC Arms má také provozní účinnost. Střední průměrná náhrada SIC je vysoká trvanlivost a spolehlivost je vzácná a prostoje jsou minimalizovány; jak znamenají nižší dlouhodobé náklady na údržbu. Pro výrobní polovodičové Fabs to znamená realizovat lepší propustnost, potenciál pro větší stabilitu ve výrobě a vyšší výnosy zařízení.

SIC Arms zaznamenaly rozsáhlé používání od jejich zavedení v polovodičové komunitě konkrétně v systémech přenosu oplatky, kde musí odolat mechanickým napětím a velmi přísným podmínkám zpracování. Ať už jde o pohybující se oplatky na epitaxní reaktory, drží je na místě během implantace iontů nebo je přenášejí prostředím plynu nebo tepelného zpracování, rameno SIC poskytuje bezpečné, přesné a bez kontaminace bez kontaminace. Spolehlivost je zřejmá zavedením sic zbraní do moderního portfolia polovodičových zařízení.

Semicorex SIC ARM je úspěšná kombinace žádaných vlastností pokročilýchMateriál karbidu křemíku, přesné inženýrství a vysokoteplotní stabilita. Kombinace chemické stability, schopnosti být obrobena a přesná výroba činí SIC rameno vhodné pro zajištění spolehlivé manipulace s oplatkou v nejtěžších polovodičových procesech. Rameno SIC je přizpůsobitelné a odolné pro spotřební výhody koncových uživatelů pro manipulaci s oplatkou a nabízí výhody a nabízí výhody v dlouhodobém provozním výkonu s ohledem na efektivitu, výnos a stabilitu procesu. Výrobci, kteří hledají moderní a špičkové systémy manipulace s oplatkou nebo dokonce mimo řešení pro manipulaci s oplatkou, se dívají a spoléhají na rameno SIC jako prokázané, vysoce výkonné a schopné přenosové a manipulační systém pro pokročilé požadavky polovodičového průmyslu.