Efektor oxidu křeminuta keramického

Semicorex Alumina keramický koncový efektor je nezbytným nástrojem v automatizovaných systémech přenosu oplatky, který nabízí bezkonkurenční mechanickou pevnost, tepelnou stabilitu a chemickou odolnost. Vyráběné pomocí vysoké čistotyAlumina (al₂o₃) keramika, tento konečný efektor je navržen tak, aby splňoval přísné požadavky prostředí zpracování oplatky, kde je prvořadá přesnost, čistota a trvanlivost.

Semiconductor Robot Arms jsou jednou z důležitých částí polovodičového vybavení. Obvykle se skládají z ovladačů, řidičů, zbraní a koncových efektorů. Vyznačují se vysokou čistotou, vysokou stabilitou, vysokou přesností, vysokou účinností a vysokou spolehlivostí. Polovodičové roboty se používají hlavně při přenosovém procesu výroby polovodičů k přepravě, přepravě a umístění polovodičových oplatků.

Keramická struktura obsah oxidu hlinitého obvykle větší než 99,5% poskytne vynikající tvrdost a odolnost proti opotřebení pro opakované pohyby ve vysokotěžovacích prostředích bez degradace v průběhu času. Vysoká tepelná vodivost a nízká tepelná roztažnost oxidu umožňují rozměrovou stabilitu v prostředích se zvýšenou teplotou, nutnost ve většině operací čistého pokoje v polovodičích, jako například v ercher, depozitéře, inspekci nebo nástroj pro čištění.

TheOteramika oxidu hlinitáKoncový efektor má pozoruhodnou charakteristickou povrchovou povrch, který je hladký a má nízkou porozitu, díky čemuž se během manipulace s oplatkou při manipulaci s oplatkou přiblíží nulové částice a minimalizaci nebo nulový účinek na kontaminanty. Alumina je navíc chemicky inertní. To znamená, že nebude reagovat s žádným z procesních plynů a jakýchkoli procesů, s nimiž je oplatka v kontaktu. To chrání oplatku a veškerou kontaminaci na sebe a vybavení před všemi, co může způsobit korozi.

Obecně se používají jako koncové efektory nebo jako upínací mechanismus pro robotické rameny nebo přenosové moduly v zařízení a vybavení a vybavení oplatky, jako je leptá nebo nástroj pro depozity, inspekce nebo čištění s přesnými sloty, drážky nebo vakuové kanály zachycující skutečnou velikost oplatky, ať už je to 100 mm, 200 mm, 200 mm nebo 300 mm a přenášení. Koncové efektory obvykle zpracovávají přenosy oplatky rychlosti při 25 cm/sekundu.

Možnosti přizpůsobení existují v souladu s určenou pro konkrétní rozhraní zařízení nebo velikosti oplatky. Strukturální rigidita aluminy umožňuje profily tenkých a lehkých, které minimalizují celkovou hmotnost systému manipulace a vedou k rychlejšímu doba odezvy. Některé konfigurace mohou také přidat antistatické nebo izolační komponenty, aby poskytovaly další ochranu citlivých elektronických substrátů.

Celkově poskytuje efektor keramického koncového efektoru aluminy efektivní řešení, které podporuje zlepšený výnos a sníženou kontaminaci, kde je provozní spolehlivost klíčovými prvky pro linii zpracování oplatky. S jeho charakteristikou trvanlivosti a fyzické výkonnosti se efektivní a nákladově efektivní efektore oxidu aluminy odliší jako oblíbená volba mezi výrobci polovodičových zařízení a FABS, které vyžadují přísné výrobní standardy v ultračistém prostředí.