Barelový susceptor pro epitaxi v kapalné fázi

Pokud potřebujete grafitový susceptor, který dokáže spolehlivě a konzistentně fungovat i v těch nejnáročnějších vysokoteplotních a korozivních prostředích, Semicorex Barrel Susceptor pro epitaxi v tekuté fázi je perfektní volbou. Jeho povlak z karbidu křemíku poskytuje vynikající tepelnou vodivost a distribuci tepla, což zajišťuje výjimečný výkon v aplikacích výroby polovodičů.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Semicorex Barrel Susceptor pro epitaxi v kapalné fázi je vhodnou volbou pro aplikace výroby polovodičů, které vyžadují vysokou odolnost vůči teplu a korozi. Jeho vysoce čistý SiC povlak a výjimečná tepelná vodivost poskytují vynikající ochranu a vlastnosti distribuce tepla, což zajišťuje spolehlivý a konzistentní výkon i v těch nejnáročnějších prostředích.

Náš sudový susceptor pro epitaxi v kapalné fázi je navržen tak, aby dosáhl nejlepšího laminárního vzoru proudění plynu a zajistil rovnoměrnost tepelného profilu. To pomáhá předcházet jakékoli kontaminaci nebo difúzi nečistot a zajišťuje vysoce kvalitní epitaxní růst na waferovém čipu.

Kontaktujte nás ještě dnes, abyste se dozvěděli více o našem Barrel Susceptor pro epitaxi v tekuté fázi.

Parametry barelového susceptoru pro epitaxi v kapalné fázi

Hlavní specifikace povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Krystalová struktura	FCC β fáze
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdost	Tvrdost podle Vickerse	2500
Velikost zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimace	℃	2700
Felexurální síla	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngův modul	Gpa (4pt ohyb, 1300℃)	430
Tepelná expanze (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivost	(W/mK)	300

Vlastnosti barelového susceptoru pro epitaxi v tekuté fázi

- Grafitový substrát i vrstva karbidu křemíku mají dobrou hustotu a mohou hrát dobrou ochrannou roli ve vysokoteplotním a korozivním pracovním prostředí.

- Susceptor potažený karbidem křemíku používaný pro růst monokrystalů má velmi vysokou rovinnost povrchu.

- Snižte rozdíl v koeficientu tepelné roztažnosti mezi grafitovým substrátem a vrstvou karbidu křemíku, účinně zlepšujte pevnost spojení, aby se zabránilo praskání a delaminaci.

- Grafitový substrát i vrstva karbidu křemíku mají vysokou tepelnou vodivost a vynikající vlastnosti distribuce tepla.

- Vysoký bod tání, odolnost proti oxidaci při vysokých teplotách, odolnost proti korozi.