Susceptor sudu reaktoru s karbidovým povlakem

Semicorex Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptor je vysoce kvalitní grafitový produkt potažený vysoce čistým SiC, navržený speciálně pro LPE procesy. Díky vynikající odolnosti vůči teplu a korozi je tento produkt ideální pro použití při výrobě polovodičů.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Pokud hledáte vysoce výkonný grafitový susceptor pro tvorbu epitaxní vrstvy na polovodičových waferech, Semicorex Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptor je vynikající volbou. Jeho povlak z karbidu křemíku poskytuje vynikající distribuci tepla a tepelnou vodivost, což zajišťuje výjimečný výkon i v těch nejnáročnějších vysokoteplotních prostředích.

Ve společnosti Semicorex se zaměřujeme na poskytování vysoce kvalitních, nákladově efektivních susceptorů pro reaktory s karbidovým povlakem, upřednostňujeme spokojenost zákazníků a poskytujeme nákladově efektivní řešení. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem, který bude dodávat vysoce kvalitní produkty a výjimečné služby zákazníkům.

Parametry susceptoru sudu reaktoru potaženého karbidem

Hlavní specifikace povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Krystalová struktura	FCC β fáze
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdost	Tvrdost podle Vickerse	2500
Velikost zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimace	℃	2700
Felexurální síla	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngův modul	Gpa (4pt ohyb, 1300℃)	430
Tepelná expanze (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivost	(W/mK)	300

Vlastnosti susceptoru reaktoru potaženého karbidem

- Grafitový substrát i vrstva karbidu křemíku mají dobrou hustotu a mohou hrát dobrou ochrannou roli ve vysokoteplotním a korozivním pracovním prostředí.

- Susceptor potažený karbidem křemíku používaný pro růst monokrystalů má velmi vysokou rovinnost povrchu.

- Snižte rozdíl v koeficientu tepelné roztažnosti mezi grafitovým substrátem a vrstvou karbidu křemíku, účinně zlepšujte pevnost spojení, aby se zabránilo praskání a delaminaci.

- Grafitový substrát i vrstva karbidu křemíku mají vysokou tepelnou vodivost a vynikající vlastnosti distribuce tepla.

- Vysoký bod tání, odolnost proti oxidaci při vysokých teplotách, odolnost proti korozi.