Barel susceptoru potažený SiC pro komoru epitaxního reaktoru

Susceptorová hlaveň s povlakem SiC společnosti Semicorex pro komoru epitaxního reaktoru je vysoce spolehlivým řešením pro procesy výroby polovodičů, které se vyznačuje vynikající distribucí tepla a tepelnou vodivostí. Je také vysoce odolný vůči korozi, oxidaci a vysokým teplotám.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Susceptorová hlaveň s povlakem SiC společnosti Semicorex pro komoru epitaxního reaktoru je produktem prvotřídní kvality, vyrobeným podle nejvyšších standardů přesnosti a odolnosti. Nabízí vynikající tepelnou vodivost, odolnost proti korozi a je velmi vhodný pro většinu epitaxních reaktorů ve výrobě polovodičů.
Naše susceptorová hlaveň potažená SiC pro komoru epitaxního reaktoru je navržena tak, aby bylo dosaženo nejlepšího vzoru laminárního proudění plynu a zajistila rovnoměrnost tepelného profilu. To pomáhá předcházet jakékoli kontaminaci nebo difúzi nečistot a zajišťuje vysoce kvalitní epitaxní růst na waferovém čipu.
Kontaktujte nás ještě dnes, abyste se dozvěděli více o našem susceptorovém barelu potaženém SiC pro komoru epitaxního reaktoru.

Parametry sudu susceptoru potaženého SiC pro komoru epitaxního reaktoru

Hlavní specifikace povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Krystalová struktura	FCC β fáze
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdost	Tvrdost podle Vickerse	2500
Velikost zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimace	℃	2700
Felexurální síla	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngův modul	Gpa (4pt ohyb, 1300℃)	430
Tepelná expanze (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivost	(W/mK)	300

Vlastnosti sudu susceptoru potaženého SiC pro komoru epitaxního reaktoru

- Grafitový substrát i vrstva karbidu křemíku mají dobrou hustotu a mohou hrát dobrou ochrannou roli ve vysokoteplotním a korozivním pracovním prostředí.

- Susceptor potažený karbidem křemíku používaný pro růst monokrystalů má velmi vysokou rovinnost povrchu.

- Snižte rozdíl v koeficientu tepelné roztažnosti mezi grafitovým substrátem a vrstvou karbidu křemíku, účinně zlepšujte pevnost spojení, aby se zabránilo praskání a delaminaci.

- Grafitový substrát i vrstva karbidu křemíku mají vysokou tepelnou vodivost a vynikající vlastnosti distribuce tepla.

- Vysoký bod tání, odolnost proti oxidaci při vysokých teplotách, odolnost proti korozi.