Susceptor sudu grafit potažený karbidem křemíku

Semicorex Barrel Susceptor Silicon Carbide Coated Graphite je specializovaná součást navržená pro použití v procesu epitaxe, zejména při přenášení plátků. Tento grafitový susceptor s karbidem křemíku je vyroben z grafitového materiálu, který je známý svou vynikající tepelnou vodivostí a stabilitou při vysokých teplotách. Pro zvýšení výkonu a odolnosti je grafitový povrch potažen vrstvou karbidu křemíku (SiC).

Povlak karbidu křemíku grafitu potaženého karbidem křemíku slouží v tomto kontextu několika zásadním účelům. Za prvé, poskytuje další vrstvu ochrany podkladovému grafitovému substrátu a chrání jej před chemickými reakcemi a opotřebením, ke kterému může dojít během procesu epitaxe. Za druhé, povlak SiC zlepšuje tepelné vlastnosti grafitu potaženého karbidem křemíku na susceptoru sudu, což umožňuje účinné a rovnoměrné zahřívání destiček. Toto rovnoměrné zahřívání je nezbytné pro dosažení konzistentních a vysoce kvalitních epitaxních vrstev na polovodičových destičkách.

Konstrukce barelového susceptoru s grafitem potaženým karbidem křemíku je optimalizována tak, aby bezpečně držela a přepravovala více plátků během epitaxního procesu. Jeho sudovitá struktura umožňuje snadné nakládání a vyjímání waferů při zajištění správné distribuce tepla a tepelné stability během provozu.

Celkově vzato, barelový susceptor Silicon Carbide Coated Graphite představuje kritickou součást v epitaxním zařízení, nabízí spolehlivost, odolnost a přesnou tepelnou kontrolu, která je nezbytná pro výrobu pokročilých polovodičových součástek.