Epitaxní reaktorová hlaveň potažená SiC

Semicorex SiC Coated Epitaxial Reactor Barrel je vysoce kvalitní grafitový produkt potažený vysoce čistým SiC. Jeho vynikající hustota a tepelná vodivost z něj činí ideální volbu pro použití v procesech LPE, poskytuje výjimečnou distribuci tepla a ochranu v korozivním a vysokoteplotním prostředí.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Pokud jde o výrobu polovodičů, Semicorex SiC Coated Epitaxial Reactor Barrel je tou správnou volbou pro vynikající výkon a výjimečnou distribuci tepla. Tento grafitový produkt, potažený vysoce čistým SiC, poskytuje vynikající odolnost proti korozi a teplu a pokaždé zajišťuje spolehlivé a konzistentní výsledky.

Ve společnosti Semicorex se zaměřujeme na poskytování vysoce kvalitních a cenově výhodných produktů našim zákazníkům. Náš SiC Coated Epitaxial Reactor Barrel má cenovou výhodu a je vyvážen na mnoho evropských a amerických trhů. Naším cílem je být vaším dlouhodobým partnerem, dodávat produkty konzistentní kvality a výjimečné služby zákazníkům.

Parametry sudu epitaxního reaktoru potaženého SiC

Hlavní specifikace povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Krystalová struktura	FCC β fáze
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdost	Tvrdost podle Vickerse	2500
Velikost zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimace	℃	2700
Felexurální síla	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngův modul	Gpa (4pt ohyb, 1300℃)	430
Tepelná expanze (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivost	(W/mK)	300

Vlastnosti válce epitaxního reaktoru potaženého SiC

- Grafitový substrát i vrstva karbidu křemíku mají dobrou hustotu a mohou hrát dobrou ochrannou roli ve vysokoteplotním a korozivním pracovním prostředí.

- Susceptor potažený karbidem křemíku používaný pro růst monokrystalů má velmi vysokou rovinnost povrchu.

- Snižte rozdíl v koeficientu tepelné roztažnosti mezi grafitovým substrátem a vrstvou karbidu křemíku, účinně zlepšujte pevnost spojení, aby se zabránilo praskání a delaminaci.

- Grafitový substrát i vrstva karbidu křemíku mají vysokou tepelnou vodivost a vynikající vlastnosti distribuce tepla.

- Vysoký bod tání, odolnost proti oxidaci při vysokých teplotách, odolnost proti korozi.