Grafitový susceptor s povlakem SiC

Grafitový susceptor Semicorex s povlakem SiC je nezbytnou součástí navrženou pro procesy křemíkové epitaxe v aplikovaných materiálech a jednotkách LPE (liquid Phase Epitaxy). Tento susceptor, vyrobený z vysoce kvalitního grafitového materiálu potaženého karbidem křemíku (SiC), zajišťuje vynikající výkon a dlouhou životnost v prostředí výroby polovodičů. Semicorex se zavázal poskytovat kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny, těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Povlak SiC na grafitovém susceptoru s povlakem SiC slouží více účelům. Za prvé poskytuje zvýšenou tepelnou stabilitu, což umožňuje přesnou kontrolu nad teplotními gradienty během procesů epitaxního růstu. Tato stabilita je zásadní pro dosažení stejnoměrných a vysoce kvalitních křemíkových vrstev v polovodičových destičkách. Povlak SiC na grafitovém susceptoru s povlakem SiC nabízí vynikající odolnost proti chemické korozi a tepelnému šoku, čímž zajišťuje integritu susceptoru i za náročných procesních podmínek. Tato odolnost se promítá do prodloužené provozní životnosti a zkrácení prostojů, což v konečném důsledku přispívá k vyšší produktivitě a hospodárnosti zařízení na výrobu polovodičů.

Konstrukce válce grafitového susceptoru s povlakem SiC usnadňuje efektivní nakládání a vyjímání waferů a optimalizuje výkon v procesech epitaxe. Kromě toho je grafitový susceptor s povlakem SiC přizpůsobený produkt a lze jej upravit tak, aby splňoval specifické požadavky a preference výrobců polovodičů, čímž je zajištěna kompatibilita s různými konfiguracemi zařízení a procesními parametry.