Plazmová leptací deska ICP

Plazmová leptací deska ICP

Plazmová leptací deska ICP společnosti Semicorex poskytuje vynikající odolnost vůči teplu a korozi pro manipulaci s plátky a procesy nanášení tenkých vrstev. Náš produkt je navržen tak, aby vydržel vysoké teploty a drsné chemické čištění, což zajišťuje odolnost a dlouhou životnost. Díky čistému a hladkému povrchu je náš nosič ideální pro manipulaci s nedotčenými oplatkami.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Pokud jde o nanášení tenkých vrstev a manipulaci s plátky, důvěřujte ICP Plasma Etching Plate od Semicorex. Náš produkt nabízí vynikající odolnost vůči teplu a korozi, rovnoměrnou tepelnou rovnoměrnost a optimální vzory laminárního proudění plynu. Díky čistému a hladkému povrchu je náš nosič ideální pro manipulaci s nedotčenými oplatkami.

Naše ICP Plasma Etching Plate je navržena tak, aby dosáhla nejlepšího vzoru laminárního proudění plynu a zajistila rovnoměrnost tepelného profilu. To pomáhá předcházet jakékoli kontaminaci nebo difúzi nečistot a zajišťuje vysoce kvalitní epitaxní růst na waferovém čipu.

Kontaktujte nás ještě dnes a zjistěte více o naší ICP plazmové leptací desce.


Parametry ICP plazmové leptací desky

Hlavní specifikace povlaku CVD-SIC

Vlastnosti SiC-CVD

Krystalová struktura

FCC β fáze

Hustota

g/cm³

3.21

Tvrdost

Tvrdost podle Vickerse

2500

Velikost zrna

μm

2~10

Chemická čistota

%

99.99995

Tepelná kapacita

J kg-1 K-1

640

Teplota sublimace

2700

Felexurální síla

MPa (RT 4-bodové)

415

Youngův modul

Gpa (4pt ohyb, 1300℃)

430

Tepelná expanze (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Tepelná vodivost

(W/mK)

300


Vlastnosti ICP Plasma Etching Plate

- Zabraňte odlupování a zajistěte povlak na celém povrchu

Odolnost proti oxidaci při vysokých teplotách: Stabilní při vysokých teplotách až do 1600 °C

Vysoká čistota: vyrobeno chemickou depozicí z par CVD za podmínek chlorace při vysoké teplotě.

Odolnost proti korozi: vysoká tvrdost, hustý povrch a jemné částice.

Odolnost proti korozi: kyselinám, zásadám, solím a organickým činidlům.

- Dosáhněte nejlepšího vzoru laminárního proudění plynu

- Garance rovnoměrnosti tepelného profilu

- Zabraňte jakékoli kontaminaci nebo šíření nečistot





Hot Tags: Plazmová leptací deska ICP, Čína, Výrobci, Dodavatelé, Továrna, Na míru, Hromadné, Pokročilé, Odolné
Související kategorie
Odeslat dotaz
Neváhejte a napište svůj dotaz do formuláře níže. Odpovíme vám do 24 hodin.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept