ICP leptací nosič potažený SiC

Nosiče plátků používané ve fázích nanášení tenkých vrstev, jako je epitaxe nebo MOCVD, nebo zpracování plátků, jako je leptání, musí vydržet vysoké teploty a drsné chemické čištění. Semicorex dodává vysoce čistý nosič na leptání ICP potažený SiC poskytuje vynikající tepelnou odolnost, rovnoměrnou tepelnou rovnoměrnost pro konzistentní tloušťku a odolnost epi vrstvy a trvanlivou chemickou odolnost. Jemný krystalový povlak SiC poskytuje čistý, hladký povrch, který je kritický pro manipulaci, protože nedotčené plátky se dotýkají susceptoru na mnoha místech po celé své ploše.

Náš nosič na leptání ICP s povlakem SiC je navržen tak, aby dosáhl nejlepšího vzoru laminárního proudění plynu a zajistil rovnoměrnost tepelného profilu. To pomáhá předcházet jakékoli kontaminaci nebo difúzi nečistot a zajišťuje vysoce kvalitní epitaxní růst na waferovém čipu.

Kontaktujte nás ještě dnes, abyste se dozvěděli více o našem nosiči leptání ICP s povlakem SiC.

Parametry ICP nosiče leptání potaženého SiC

Vlastnosti vysoce čistého ICP leptacího nosiče potaženého SiC

- Zabraňte odlupování a zajistěte povlak na celém povrchu

Odolnost proti oxidaci při vysokých teplotách: Stabilní při vysokých teplotách až do 1600 °C

Vysoká čistota: vyrobeno chemickou depozicí z par CVD za podmínek chlorace při vysoké teplotě.

Odolnost proti korozi: vysoká tvrdost, hustý povrch a jemné částice.

Odolnost proti korozi: kyselinám, zásadám, solím a organickým činidlům.

- Dosáhněte nejlepšího vzoru laminárního proudění plynu

- Garance rovnoměrnosti tepelného profilu

- Zabraňte jakékoli kontaminaci nebo šíření nečistot