Reaktorový systém s kapalnou fází epitaxe (LPE).

Semicorex Liquid Phase Epitaxy (LPE) Reactor System je inovativní produkt, který nabízí vynikající tepelný výkon, rovnoměrný tepelný profil a vynikající přilnavost povlaku. Jeho vysoká čistota, odolnost proti oxidaci při vysokých teplotách a odolnost proti korozi z něj činí ideální volbu pro použití v polovodičovém průmyslu. Jeho přizpůsobitelné možnosti a nákladová efektivita z něj činí vysoce konkurenční produkt na trhu.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Náš reaktorový systém s kapalnou fází epitaxe (LPE) je vysoce spolehlivý a odolný produkt, který poskytuje vynikající hodnotu za peníze. Jeho odolnost proti oxidaci při vysokých teplotách, rovnoměrný tepelný profil a zabránění kontaminaci z něj dělají ideální pro vysoce kvalitní růst epitaxní vrstvy. Jeho nízké nároky na údržbu a přizpůsobitelnost z něj činí vysoce konkurenceschopný produkt na trhu.

Ve společnosti Semicorex se zaměřujeme na poskytování vysoce kvalitních a cenově výhodných produktů našim zákazníkům. Náš reaktorový systém s kapalnou fází epitaxe (LPE) má cenovou výhodu a je vyvážen na mnoho evropských a amerických trhů. Naším cílem je být vaším dlouhodobým partnerem, dodávat produkty konzistentní kvality a výjimečné služby zákazníkům.

Kontaktujte nás ještě dnes, abyste se dozvěděli více o našem reaktorovém systému s kapalnou fází epitaxe (LPE).

Parametry systému reaktoru s kapalnou fázovou epitaxí (LPE).

Hlavní specifikace povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Krystalová struktura	FCC β fáze
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdost	Tvrdost podle Vickerse	2500
Velikost zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimace	℃	2700
Felexurální síla	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngův modul	Gpa (4pt ohyb, 1300℃)	430
Tepelná expanze (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivost	(W/mK)	300

Vlastnosti systému reaktoru s kapalnou fází epitaxe (LPE).

- Grafitový substrát i vrstva karbidu křemíku mají dobrou hustotu a mohou hrát dobrou ochrannou roli ve vysokoteplotních a korozivních pracovních prostředích.

- Susceptor potažený karbidem křemíku používaný pro růst monokrystalů má velmi vysokou rovinnost povrchu.

- Snižte rozdíl v koeficientu tepelné roztažnosti mezi grafitovým substrátem a vrstvou karbidu křemíku, účinně zlepšujte pevnost spojení, aby se zabránilo praskání a delaminaci.

- Grafitový substrát i vrstva karbidu křemíku mají vysokou tepelnou vodivost a vynikající vlastnosti distribuce tepla.

- Vysoký bod tání, odolnost proti oxidaci při vysokých teplotách, odolnost proti korozi.