Produkty

Semicorex SiC epi-wafer susceptory vyrobené z grafitu potaženého SiC jsou navrženy tak, aby poskytovaly výjimečnou tepelnou rovnoměrnost a chemickou stabilitu v procesech epitaxního růstu při vysokých teplotách. Semicorex se zavázal dodávat zákazníkům po celém světě produkty nejvyšší kvality a nejlepší služby. Díky rozsáhlým technickým znalostem a spolehlivým výrobním schopnostem pomáháme globálním partnerům dosáhnout stabilního výkonu a dlouhodobé hodnoty.*

Semicorex SiC potažené epitaxní susceptory jsou základní komponenty používané v procesu epitaxního růstu polovodičů pro stabilní podporu a fixaci polovodičových destiček. S využitím vyspělých výrobních kapacit a nejmodernějších výrobních technologií se Semicorex zavázal dodávat našim váženým zákazníkům kvalitní a konkurenceschopné epitaxiální susceptory potažené SiC na trhu.

Grafitové MOCVD susceptory potažené SiC jsou základními součástmi používanými v zařízeních pro metal-organické chemické nanášení z plynné fáze (MOCVD), které jsou zodpovědné za držení a zahřívání waferových substrátů. Se svým vynikajícím tepelným managementem, chemickou odolností a rozměrovou stabilitou jsou grafitové MOCVD susceptory potažené SiC považovány za optimální volbu pro vysoce kvalitní epitaxi waferového substrátu.

Semicorex CVD TaC Coated Susceptor je prémiové řešení navržené pro MOCVD epitaxní procesy, které poskytuje vynikající tepelnou stabilitu, čistotu a odolnost proti korozi v extrémních podmínkách procesu. Semicorex se zaměřuje na precizně navrženou technologii povrchové úpravy, která zajišťuje konzistentní kvalitu plátků, prodlouženou životnost součástí a spolehlivý výkon v každém výrobním cyklu.*

Susceptory oplatky s polotami Sic jsou vysoce výkonné nosiče navržené speciálně pro ultrathinovou depozici za podmínek bez tlaku. S pokročilým materiálovým inženýrstvím, přesností kontroly poréznosti a robustní technologií SIC povlaku poskytuje Semicorex spolehlivost a přizpůsobení v oboru tak, aby vyhovovala vyvíjejícím se potřebám výroby polovodičů nové generace.**************************************************************************************************************************

Semicorex planetární sacesceptor je grafitová složka s vysokou čistotou s SiC povlakem určenou pro reaktory Aixtron G5+, aby se zajistilo jednotné rozdělení tepla, chemické odolnosti a vysoce přesný růst epitaxiální vrstvy.*