Grafitové MOCVD susceptory potažené SiC

Grafitové MOCVD susceptory potažené SiCjsou základní komponenty používané v zařízeních pro metal-organické chemické nanášení z plynné fáze (MOCVD), které jsou zodpovědné za udržování a zahřívání waferových substrátů. Se svým vynikajícím tepelným managementem, chemickou odolností a rozměrovou stabilitou jsou grafitové MOCVD susceptory potažené SiC považovány za optimální volbu pro vysoce kvalitní epitaxi waferového substrátu.

Při výrobě oplatek,MOCVDTechnologie se používá ke konstrukci epitaxních vrstev na povrchu waferových substrátů a připravuje se na výrobu pokročilých polovodičových součástek. Vzhledem k tomu, že růst epitaxních vrstev je ovlivňován více faktory, nemohou být waferové substráty umístěny přímo do zařízení MOCVD pro depozici. Grafitové MOCVD susceptory potažené SiC jsou potřebné k držení a zahřívání waferových substrátů, což vytváří stabilní tepelné podmínky pro růst epitaxních vrstev. Proto výkon grafitových MOCVD susceptorů potažených SiC přímo určuje uniformitu a čistotu tenkovrstvých materiálů, což zase ovlivňuje výrobu pokročilých polovodičových součástek.

Semicorex volívysoce čistý grafitjako materiál matrice pro své grafitové MOCVD susceptory potažené SiC a poté rovnoměrně potahuje grafitovou matricikarbid křemíkupovlakování pomocí technologie CVD. Ve srovnání s konvenční technologií technologie CVD výrazně zlepšuje pevnost spojení mezi povlakem z karbidu křemíku a grafitovou matricí, což má za následek hustší povlak se silnější adhezí. Dokonce i v náročné vysokoteplotní korozivní atmosféře si povlak z karbidu křemíku zachovává svou strukturální integritu a chemickou stabilitu po dlouhou dobu, čímž účinně zabraňuje přímému kontaktu mezi korozivními plyny a grafitovou matricí. To účinně zabraňuje korozi grafitové matrice a zabraňuje částicím grafitu v oddělování a kontaminaci plátkových substrátů a epitaxních vrstev, což zajišťuje čistotu a výtěžnost výroby polovodičového zařízení.

Výhody grafitových MOCVD susceptorů Semicorex s povlakem SiC

1. Vynikající odolnost proti korozi

2. Vysoká tepelná vodivost

3. Vynikající tepelná stabilita

4. Nízký koeficient tepelné roztažnosti

5. Výjimečná odolnost proti tepelným šokům

6. Vysoká hladkost povrchu

7. Trvalá životnost