Produkty

Semicorex SiC potažené grafitové destičkové susceptory jsou nepostradatelné grafitové destičkové nosiče pokryté hustým a jednotným CVD SiC potahem, které jsou navrženy speciálně pro špičkové polovodičové systémy epitaxního růstu MOCVD. Volba Semicorex znamená, že můžete získat nákladově efektivní ceny, vynikající kvalitu produktů a spolehlivý servis.

Planetové susceptory potažené SiC Semicorex jsou vysoce přesné grafitové podpůrné součásti pokryté hustým povlakem z karbidu křemíku, speciálně navržené pro pokročilé zařízení MOCVD. Mohou umožnit rovnoměrný tok plynu a distribuci tepla, čímž přispívají k vytvoření optimálního epitaxního prostředí.

Semicorex Quartz Susceptor Support je navržen speciálně pro polovodičové epitaxní pece. Jeho vysoce čisté materiály a přesná struktura umožňují přesné ovládání zvedání a polohování podnosů nebo držáků vzorků v reakční komoře. Semicorex může poskytnout přizpůsobená vysoce čistá křemenná řešení zajišťující dlouhodobou výkonnostní stabilitu každého podpůrného komponentu ve vysoce vakuovém, vysokoteplotním a vysoce korozivním prostředí polovodičových procesů prostřednictvím pokročilé technologie zpracování a přísné kontroly kvality.*

Semicorex 1x2" grafitové wafer susceptory jsou vysoce výkonné nosné komponenty speciálně navržené pro 2-palcové wafery, které se dobře hodí pro epitaxní proces polovodičových waferů. Vyberte si Semicorex pro špičkovou čistotu materiálu, přesné inženýrství a bezkonkurenční spolehlivost v náročných prostředích epitaxního růstu.

Semicorex TaC-potažené grafitové destičkové susceptory jsou nejmodernější komponenty, které se typicky aplikují ke stabilní podpoře a umístění polovodičových destiček během pokročilých polovodičových epitaxních procesů. S využitím nejmodernějších výrobních technologií a vyzrálých výrobních zkušeností se společnost Semicorex zavázala dodávat našim váženým zákazníkům na míru vyrobené grafitové destičkové susceptory potažené TaC s nejlepší kvalitou na trhu.

Semicorex CVD TaC Coated Susceptors jsou vysoce výkonné grafitové susceptory s hustým TaC povlakem, navržené tak, aby poskytovaly vynikající tepelnou rovnoměrnost a odolnost proti korozi pro náročné procesy epitaxního růstu SiC. Semicorex kombinuje pokročilou technologii CVD povlaku s přísnou kontrolou kvality, aby poskytl susceptory s dlouhou životností a nízkou kontaminací, kterým důvěřují světoví výrobci SiC epi.*