1x2" grafitové susceptory

Při výrobě polovodičových destiček se vyžaduje, aby epitaxní vrstva narostla na destičkovém substrátu pro následnou výrobu polovodičových zařízení. Vzhledem k tomu, že proces epitaxního růstu je vysoce citlivý na kolísání teploty a kontaminaci, je výběr spolehlivýdestičkové susceptoryjsou kriticky důležité. Přesnost obrábění, schopnost tepelného managementu a odolnost proti znečištění jsou nepostradatelnými podpůrnými díly v procesu epitaxe plátku, což jsou klíčové faktory pro dosažení vysoce kvalitního epitaxního růstu plátků.

Funkce Semicorex 1x2" grafitových destičkových susceptorů

Grafitové destičkové susceptory Semicorex 1x2" jsou vyrobeny z ultrajemnozrnného, ​​vysoce čistého grafitu jako matrice s hustým povlakem z karbidu křemíku a poskytují následující funkce:

1. Bezpečné a zastaralé držení

Semicorex 1x2"grafitSusceptory destiček se vyznačují přesným obráběním a úpravou, poskytující výjimečnou rovinnost povrchu a rozměrovou přesnost. To zajišťuje, že jsou pevně zajištěny ve vhodné poloze a poskytuje stabilní, plochou podpůrnou platformu pro epitaxní růst plátků.

2. Přesná rovnoměrná distribuce tepla

Díky vynikající tepelné vodivosti grafitových a SiC materiálů poskytují grafitové plátkové susceptory Semicorex 1x2" rychlou a rovnoměrnou distribuci tepla v polovodičové látce. Minimalizací teplotních gradientů mohou grafitové plátkové susceptory Semicorex 1x2" účinně předcházet problémům, jako je nerovnoměrná kvalita epitaxe a koncentrace napětí.

Výhody povlaku z karbidu křemíku Semicorex

1. Vynikající odolnost proti korozi

Grafitové destičkové susceptory Semicorex 1x2" pokryté hustým povlakem z karbidu křemíku jsou účinně odolné vůči většině chemikálií, díky čemuž jsou vhodné pro aplikace ve vysoce korozních provozních podmínkách, kde je materiál často vystaven korozivním plynům a chemickým výparům.

2. Nízké uvolňování částic

Semicorexpovlak z karbidu křemíkumá vysokou pevnost spojení s grafitovou matricí, což může významně zabránit riziku kontaminace substrátu v důsledku oddělení povlaku v důsledku koroze a spadu částic způsobených vysoce korozním prostředím.

3. Spolehlivá životnost

Přestože grafitové matrice vykazují vynikající tepelnou stabilitu a mechanickou pevnost, jsou náchylné ke korozi a pulverizaci za provozních podmínek epitaxního procesu, což výrazně zkracuje životnost nepotažených grafitových matric. Díky úplnému zapouzdření grafitových matric hustými SiC povlaky dosahují naše 1×2" grafitové destičkové susceptory vynikající a spolehlivé životnosti.

Materiálové údaje Semicorex SiC Coating