Planetární susceptory potažené SiC

Planetární susceptory potažené SiC Semicorex jsou nepostradatelnou podpůrnou součástí navrženou pro epitaxní růst polovodičů v zařízení Aixtron G2, ve kterém jsou schopny bezpečně podpírat destičky a rotovat planetárním pohybem. Tímto způsobem lze úspěšně dosáhnout přesné tepelné stejnoměrnosti a stejnoměrné distribuce plynu po povrchu plátku, což vede k nanášení epitaxní vrstvy na plátcích prvotřídní kvality.

Výhody planetových susceptorů s povlakem Semicorex SiC

1. Design kapsy s více destičkami

S povlakem Semicorex SiCplanetární susceptoryvyznačují se rovnoměrným rozložením několika kapes na oplatky s přesně kontrolovanými rozměry. Tyto kapsy plátků jsou schopny pevně držet substráty plátků během procesu epitaxního růstu, což může účinně minimalizovat variace epitaxního procesu způsobené nežádoucím pohybem substrátů plátků. Kromě toho tento design kapsy s více destičkami umožňuje, aby více substrátů destiček podstoupilo epitaxní nanášení současně v jediném běhu procesu, což výrazně zlepšuje celkovou účinnost procesu epitaxního růstu.

2. Optimalizované uspořádání otvorů pro průtok plynu

Semicorex obsahuje pečlivě navrženou sadu kanálů pro průtok plynuSiC-caotedplanetárních susceptorů, které zpřesňují optimalizaci dynamiky proudění plynu a tepelné rovnoměrnosti na povrchu plátku během epitaxního procesu. Tento promyšlený design umožňuje přesnou kontrolu nad průtokem a distribucí plynu uvnitř reakční komory, což je nezbytné pro dosažení vysoce kvalitních tenkých filmů, rovnoměrné tloušťky vrstvy a spolehlivého celkového výkonu zařízení.

3. Ultra vysoká čistota

Planetové susceptory potažené SiC Semicorex jsou vyráběny z materiálů s extrémně vysokou čistotou a extrémně nízkými úrovněmi nečistot, které plně splňují přísné požadavky na čistotu při výrobě polovodičů. Účinně minimalizují kontaminaci plátků způsobenou kovovým odplyňováním, a to i za vysokých teplot a korozních podmínek typických pro epitaxní procesy.

4. Dlouhá životnost

Kontrola kvality společnosti Semicorex začíná naším přísným výběrem surovin. Planetové susceptory potažené SiC jsou precizně vyrobeny z polovodičového grafitu a karbidu křemíku a nabízejí vynikající odolnost vůči vysokým teplotám a korozi, díky čemuž dokonale odolávají náročným vysokoteplotním a vysoce korozním epitaxním provozním podmínkám. Díky těmto vynikajícím materiálovým vlastnostem si planetové susceptory s povlakem SiC Semicorex mohou zachovat svůj konzistentní výkon a strukturální integritu a vyhnout se poškození povrchu a poklesu výkonu ve vysokoteplotních a vysoce korozních reakčních komorách, což výrazně prodlužuje životnost planetových susceptorů s povlakem SiC.