Quartzová difúzní loď

Při chemické depozici z plynné fáze (CVD) je role křemenného difúzního člunu zásadní pro rovnoměrné nanášení tenkých vrstev na polovodičové substráty. Precizní konstrukce Quartz Diffusion Boat zajišťuje, že plátky jsou bezpečně drženy na místě, což umožňuje rovnoměrnou distribuci plynných reaktantů po jejich povrchu. Tato jednotnost je zásadní pro dosažení konzistentní tloušťky a složení filmu, což přímo ovlivňuje elektrický výkon polovodičových součástek. Semicorex Quartz Diffusion Boat je navržen tak, aby odolal vysokým teplotám a korozivnímu prostředí, s nimiž se běžně setkáváme při CVD procesech, a zajišťuje tak dlouhodobou životnost a spolehlivost.

Tepelná oxidace je dalším kritickým procesem při výrobě polovodičů, kde na povrchu křemíkových plátků narůstá vrstva oxidu křemičitého. Tato oxidová vrstva působí jako izolant a je nezbytná pro správnou funkci polovodičových součástek. Quartz Diffusion Boat jsou navrženy tak, aby poskytovaly vynikající tepelnou stabilitu a zajistily, že plátky jsou během oxidačního procesu vystaveny jednotnému teplotnímu profilu. Tato uniformita je nezbytná pro růst konzistentní a vysoce kvalitní oxidové vrstvy, která zvyšuje výkon a spolehlivost finálních polovodičových součástek.

Žíhání, které zahrnuje řízený ohřev a ochlazování plátků za účelem změny jejich fyzikálních a chemických vlastností, je dalším procesem, ve kterém hraje křemenný difúzní člun zásadní roli. Přesné řízení teploty a atmosféry během žíhání je klíčové pro zlepšení krystalové struktury křemíku, aktivaci příměsí a snížení defektů. Semicorex Quartz Diffusion Boat je navržen tak, aby udržoval strukturální integritu a tepelnou stabilitu za vysokých teplot a rychlých teplotních změn typických pro procesy žíhání. Tato stabilita zajišťuje, že se s destičkami zachází rovnoměrně, čímž se dosahují požadované materiálové vlastnosti a zvyšuje se výkon polovodičových součástek.

Přizpůsobení je klíčovým aspektem Quartz Diffusion Boat, protože různé procesy výroby polovodičů mají jedinečné požadavky. V Semicorex nabízíme širokou škálu přizpůsobených tvarů a velikostí, které splňují specifické potřeby našich zákazníků. Naše produktová řada zahrnuje různé typy nosičů křemenných plátků, jako jsou quartzové čluny, štěrbinové čluny, flattingové čluny a stojaté čluny. Specializujeme se na výrobu nosičů destiček pro řadu specifikací, včetně destiček 3″, 4″, 5″, 6″, 7″ a 8″. K dispozici jsou jak čiré tavené, tak neprůhledné materiály, což nám umožňuje poskytovat řešení, která jsou přizpůsobena specifickým požadavkům každé aplikace.

Naše výrobní možnosti jsou podporovány nejmodernějšími zařízeními, včetně bezprašných svařoven a vysoce standardních zpracovatelských dílen. Využíváme pokročilé technologie, jako je řezání laserem, CNC obráběcí centra, CNC obrážečky a efektivní řezání vodou, abychom zajistili nejvyšší kvalitu a přesnost v Quartz Diffusion Boat. Tyto pokročilé výrobní procesy nám umožňují vyrábět křemenné čluny s přesnými rozměry a vynikající povrchovou úpravou, což zajišťuje optimální výkon v procesech výroby polovodičů.