SiC keramické pádlo

Keramická lopatka Semicorex SiC je pokročilý díl, který byl vyvinut pro aplikace vysokoteplotních polovodičových pecí, jako je oxidace a difúze. Pádlo funguje jako konzolová podpora pro držení a pohyb destiček při vysokých teplotách. Keramická lopatka Semicorex SiC poskytuje vysoce čisté, vysoce pevné keramické komponenty vysokoteplotním procesům, které vyžadují spolehlivost, stabilitu a výkon náročný ve výrobním procesu.

Lopatky jsou vyrobeny z vysoce čistékarbid křemíku (SiC), specificky formulovaný tak, aby odolal náročným tepelným a chemickým prostředím procesu výroby polovodičů. Když jsou destičky zpracovávány oxidací a difúzí, jsou destičky vystaveny teplotám vyšším než 1000 stupňů C, stejně jako reaktivním plynům, jako je kyslík, pára nebo dotovací atmosféra. Při těchto teplotách bude strukturální integrita záviset na čistotě materiálu.

Další důležitou vlastností keramických lopatek SiC je jejich vynikající výkon při vysokých teplotách. Díky bodu tání SiC 2700+C si lopatky zachovávají pevnost a mechanickou stabilitu při vystavení vysokým teplotám

v průběhu času. Tepelná vlastnost omezuje deformaci a praskání materiálu během opakovaných cyklů ohřevu a chlazení a zároveň poskytuje dlouhou životnost ve výrobním prostředí.

Zpracování polovodičů vyžaduje ultračisté prostředí, protože i stopová množství nečistot mohou ovlivnit výtěžnost a chování zařízení. SiC materiál použitý v lopatkách má chemicky napařovaný (CVD) SiC povlak, který podporuje výjimečně vysokou čistotu materiálu a zároveň minimalizuje kovové znečištění. Keramické lopatky SiC zůstávají čisté a stabilní po celou dobu své životnosti. Jako konzolové podpěry musí lopatky poskytovat bezpečnou podporu pro nosiče plátků nebo čluny během vkládání a vyjímání z pece. KvůliSiCDíky své vlastní pevnosti a tuhosti mají dobré nosné vlastnosti s minimálním průhybem, což je nezbytné pro správnou manipulaci a vyrovnání plátků. V oxidačních a difúzních pecích může korozivní atmosféra napadnout a degradovat tradiční materiály v průběhu času, ale SiC má schopnost udržet si svou chemickou stabilitu a prodloužit životnost lopatek. To má za následek dramatické snížení nákladů na údržbu a výměnu, protože pádla není třeba vyměňovat nebo opravovat téměř tak často.

Kromě výkonu existuje flexibilita v přizpůsobení lopatek pro konkrétní zařízení a procesy. Rozměry, tolerance a povrchová úprava mohou být flexibilní, aby se zajistila kompatibilita mezi konstrukcemi pece a jakýmkoli jiným systémem manipulace s plátky. Schopnost dosahovat vysokých stupňů rozměrové přesnosti s přesným obráběním keramiky také umožní výrobu lopatek pro splnění složitých geometrií. Celá tato řada funkcí má zajistit bezproblémový provoz a snadnou integraci do stávajících výrobních linek.

SiC keramikaLopatky, se svou kombinací vysoké čistoty, tepelné stability, mechanické pevnosti a chemické odolnosti, jsou základními materiály v procesech oxidace polovodičů a difúze. Tím, že poskytují stabilní, čistou platformu pro přenos waferů, přímo přispívají ke zlepšenému výtěžku, konzistenci procesu a celkové efektivitě výroby.