SiC pádla

Lopatky Semicorex SiC jsou "nosiče" plátků, které berou plátky do pecí s teplotou vyšší než 1000 stupňů Celsia. To je jejich klíčová výhoda: vysoká čistota, stabilita při vysokých teplotách, pro zachování mechanické tuhosti při přepravě vzorku v extrémních prostředích. Vysoce čisté materiály jsou účinné pro zabránění kontaminaci plátku kovovými nečistotami; stejně tak vysoká teplotní stabilitaRekrystalizovánoprotože si zachová chemickou stabilitu při teplotách zpracování, které zabraňují úniku kovových nečistot nebo částic z kontaminace plátku, což zajišťuje stabilní výtěžek plátku. konečněkonzolová pádlajsou také kompatibilní s integrovanými systémy přenosu plátků, což dále snižuje závislost na lidech a zvyšuje výkon.

Tepelná stabilita SiC pádel je doplněna jejich vynikající chemickou odolností vůči reaktivním plynům, které se obvykle projevují při oxidačních a difúzních procesech (např. kyslík, chlór a další agresivní látky při vysoké teplotě). Mnoho materiálů se zničí nebo kontaminuje, když je vystaveno vysoké teplotě a kyslíku. Karbid křemíku je chemicky inertní a jeho hustá mikrostruktura zajišťuje, že nedojde k chemickým reakcím, což poskytuje jak strukturální integritu lopatky, tak čisté prostředí pro destičku. Výsledné riziko kontaminace je udržováno na minimu pro výrobce polovodičů, kteří pracují na některých z nejpokročilejších procesních uzlů, u nichž dokonce i stopové prvky kontaminantů mohou způsobit významné změny ve výkonu zařízení.karbid křemíku (SiC)Lopatky SiC poskytují tepelnou stabilitu, mechanickou pevnost a chemickou odolnost pro zajištění stabilní přepravy nad teplotami 1000 °C. Lopatky SiC jsou vyžadovány pro zpracování plátků: zajistí, že s křehkými substráty lze vhodně manipulovat při zachování integrity a konzistence během procesu oxidace, difúze a žíhání.

Pádla SiC jsou navržena tak, aby byla robustní a spolehlivá, jsou konzolové rameno, které drží čluny na oplatky nebo stohy oplatků. Lopatka podporuje destičky při jejich vkládání nebo vyjímání z procesní komory. Běžné materiály při těchto vysokých teplotách selhávají v důsledku deformace, deformace nebo chemické degradace. Mechanická stabilita a strukturální integrita karbidu křemíku umožňuje lopatce přežít několik tepelných cyklů bez ztráty tvaru nebo funkce. Tato schopnost je důležitá pro udržení vyrovnání pece, zajištění toho, že se plátky během procesu nepoškodí, a minimalizaci nákladných prostojů.

Tepelná stabilita SiC pádel je doplněna jejich vynikající chemickou odolností vůči reaktivním plynům, které se obvykle projevují při oxidačních a difúzních procesech (např. kyslík, chlór a další agresivní látky při vysoké teplotě). Mnoho materiálů se zničí nebo kontaminuje, když je vystaveno vysoké teplotě a kyslíku. Karbid křemíku je chemicky inertní a jeho hustá mikrostruktura zajišťuje, že nedojde k chemickým reakcím, což poskytuje jak strukturální integritu lopatky, tak čisté prostředí pro destičku. Výsledné riziko kontaminace je udržováno na minimu pro výrobce polovodičů, kteří pracují na některých z nejpokročilejších procesních uzlů, u nichž dokonce i stopové prvky kontaminantů mohou způsobit významné změny ve výkonu zařízení.

Mechanická integrita spojená s lopatkami SiC také poskytuje hodnotu v procesech manipulace. Konzolová konstrukční forma vyžaduje materiál, který unese hmotnost stohů vrstev a neohýbá se ani neklesá. Velmi vysoký modul karbidu křemíku a velmi vysoká tvrdost z něj činí dobrý předpoklad pro mechanickou strukturální funkci, která je požadována. SiC pádlo si zachovává jak rovinnost, tak strukturu i zatížené wafery. To znamená neustálou kontrolu pece a jejích podmínek během dlouhých výrobních období.