Barelový susceptor potažený SiC pro epitaxní růst

Se svou vynikající hustotou a tepelnou vodivostí je Semicorex SiC Coated Barrel Susceptor pro epitaxní růst ideální volbou pro použití ve vysokoteplotním a korozivním prostředí. Tento grafitový produkt potažený vysoce čistým SiC poskytuje vynikající ochranu a distribuci tepla, což zajišťuje spolehlivý a konzistentní výkon v aplikacích výroby polovodičů.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Semicorex SiC Coated Barrel Susceptor pro epitaxní růst je perfektní volbou pro tvorbu epixiální vrstvy na polovodičových destičkách díky své vynikající tepelné vodivosti a vlastnostem distribuce tepla. Jeho povlak z karbidu křemíku poskytuje vynikající ochranu i v těch nejnáročnějších vysokoteplotních a korozivních prostředích.

Ve společnosti Semicorex se zaměřujeme na poskytování vysoce kvalitních a cenově výhodných produktů našim zákazníkům. Náš SiC Coated Barrel Susceptor pro epitaxní růst má cenovou výhodu a je vyvážen na mnoho evropských a amerických trhů. Naším cílem je být vaším dlouhodobým partnerem, dodávat produkty konzistentní kvality a výjimečné služby zákazníkům.

Parametry sudového susceptoru potaženého SiC pro epitaxní růst

Hlavní specifikace povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Krystalová struktura	FCC β fáze
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdost	Tvrdost podle Vickerse	2500
Velikost zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimace	℃	2700
Felexurální síla	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngův modul	Gpa (4pt ohyb, 1300℃)	430
Tepelná expanze (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivost	(W/mK)	300

Vlastnosti Susceptoru sudu potaženého SiC pro epitaxní růst

- Grafitový substrát i vrstva karbidu křemíku mají dobrou hustotu a mohou hrát dobrou ochrannou roli ve vysokoteplotních a korozivních pracovních prostředích.

- Susceptor potažený karbidem křemíku používaný pro růst monokrystalů má velmi vysokou rovinnost povrchu.

- Snižte rozdíl v koeficientu tepelné roztažnosti mezi grafitovým substrátem a vrstvou karbidu křemíku, účinně zlepšujte pevnost spojení, aby se zabránilo praskání a delaminaci.

- Grafitový substrát i vrstva karbidu křemíku mají vysokou tepelnou vodivost a vynikající vlastnosti distribuce tepla.

- Vysoký bod tání, odolnost proti oxidaci při vysokých teplotách, odolnost proti korozi.