Barelový susceptor potažený SiC pro epitaxní růst LPE

Semicorex SiC Coated Barrel Susceptor pro LPE epitaxní růst je vysoce výkonný produkt navržený tak, aby poskytoval konzistentní a spolehlivý výkon po dlouhou dobu. Jeho rovnoměrný tepelný profil, laminární proudění plynu a prevence kontaminace z něj činí ideální volbu pro růst vysoce kvalitních epitaxních vrstev na waferových čipech. Jeho přizpůsobitelnost a hospodárnost z něj činí vysoce konkurenceschopný produkt na trhu.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Náš SiC Coated Barrel Susceptor pro LPE epitaxní růst je vysoce kvalitní a spolehlivý produkt, který poskytuje vynikající hodnotu za peníze. Jeho odolnost proti oxidaci při vysokých teplotách, rovnoměrný tepelný profil a prevence kontaminace z něj činí ideální volbu pro růst vysoce kvalitních epitaxních vrstev na waferových čipech. Jeho nízké nároky na údržbu a přizpůsobitelnost z něj činí vysoce konkurenceschopný produkt na trhu.

Kontaktujte nás ještě dnes a zjistěte více o našem SiC potaženém barelovém susceptoru pro LPE epitaxní růst.

Parametry SiC Coated Barrel Susceptor pro LPE epitaxní růst

Hlavní specifikace povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Krystalická struktura	FCC Î² fáze
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdost	Tvrdost podle Vickerse	2500
Velikost zrna	Î¼m	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J·kg-1 ·K-1	640
Teplota sublimace	℃	2700
Felexurální síla	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngův modul	Gpa (4pt ohyb, 1300â)	430
Tepelná expanze (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivost	(W/mK)	300

Vlastnosti Susceptoru sudu potaženého SiC pro epitaxní růst LPE

- Grafitový substrát i vrstva karbidu křemíku mají dobrou hustotu a mohou hrát dobrou ochrannou roli ve vysokoteplotním a korozivním pracovním prostředí.

- Susceptor potažený karbidem křemíku používaný pro růst monokrystalů má velmi vysokou rovinnost povrchu.

- Snižte rozdíl v koeficientu tepelné roztažnosti mezi grafitovým substrátem a vrstvou karbidu křemíku, účinně zlepšujte pevnost spoje, aby se zabránilo praskání a delaminaci.

- Grafitový substrát i vrstva karbidu křemíku mají vysokou tepelnou vodivost a vynikající vlastnosti distribuce tepla.

- Vysoký bod tání, odolnost proti oxidaci při vysokých teplotách, odolnost proti korozi.