Susceptor sudu potažený SiC pro epitaxní destičky

Semicorex SiC Coated Barrel Susceptor pro Wafer Epitaxial je díky svému výjimečně plochému povrchu a vysoce kvalitnímu SiC povlaku perfektní volbou pro aplikace růstu monokrystalů. Jeho vysoký bod tání, odolnost proti oxidaci a odolnost proti korozi z něj činí ideální volbu pro použití ve vysokoteplotním a korozivním prostředí.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Hledáte grafitový susceptor s výjimečným rozložením tepla a tepelnou vodivostí? Nehledejte nic jiného než Semicorex SiC Coated Barrel Susceptor pro Wafer Epitaxial, potažený vysoce čistým SiC pro vynikající výkon v epitaxních procesech a dalších aplikacích výroby polovodičů.
Ve společnosti Semicorex se zaměřujeme na poskytování vysoce kvalitních a cenově výhodných produktů našim zákazníkům. Náš SiC Coated Barrel Susceptor pro Wafer Epitaxial má cenovou výhodu a je vyvážen na mnoho evropských a amerických trhů. Naším cílem je být vaším dlouhodobým partnerem, dodávat produkty konzistentní kvality a výjimečné služby zákazníkům.

Parametry SiC Coated Barrel Susceptor pro Wafer Epitaxial

Hlavní specifikace povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Krystalová struktura	FCC β fáze
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdost	Tvrdost podle Vickerse	2500
Velikost zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimace	℃	2700
Felexurální síla	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngův modul	Gpa (4pt ohyb, 1300℃)	430
Tepelná expanze (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivost	(W/mK)	300

Vlastnosti Susceptoru sudu potaženého SiC pro epitaxní destičky

- Grafitový substrát i vrstva karbidu křemíku mají dobrou hustotu a mohou hrát dobrou ochrannou roli ve vysokoteplotním a korozivním pracovním prostředí.

- Susceptor potažený karbidem křemíku používaný pro růst monokrystalů má velmi vysokou rovinnost povrchu.

- Snižte rozdíl v koeficientu tepelné roztažnosti mezi grafitovým substrátem a vrstvou karbidu křemíku, účinně zlepšujte pevnost spojení, aby se zabránilo praskání a delaminaci.

- Grafitový substrát i vrstva karbidu křemíku mají vysokou tepelnou vodivost a vynikající vlastnosti distribuce tepla.

- Vysoký bod tání, odolnost proti oxidaci při vysokých teplotách, odolnost proti korozi.