SiC potažený grafitový barelový susceptor

Pokud hledáte vysoce výkonný grafitový susceptor pro použití v aplikacích výroby polovodičů, je Semicorex SiC Coated Graphite Barrel Susceptor ideální volbou. Jeho výjimečná tepelná vodivost a vlastnosti distribuce tepla z něj činí volbu pro spolehlivý a konzistentní výkon ve vysokoteplotních a korozivních prostředích.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Semicorex SiC Coated Graphite Barrel Susceptor je perfektní volbou pro aplikace výroby polovodičů, které vyžadují výjimečnou distribuci tepla a tepelnou vodivost. Jeho vysoce čistý SiC povlak a vynikající hustota poskytují vynikající ochranu a vlastnosti distribuce tepla, což zajišťuje spolehlivý a konzistentní výkon i v těch nejnáročnějších prostředích.

Náš grafitový barelový susceptor potažený SiC je navržen tak, aby dosáhl nejlepšího laminárního proudění plynu a zajistil rovnoměrnost tepelného profilu. To pomáhá předcházet jakékoli kontaminaci nebo difúzi nečistot a zajišťuje vysoce kvalitní epitaxní růst na waferovém čipu.

Kontaktujte nás ještě dnes a zjistěte více o našem grafitovém barelovém susceptoru potaženém SiC.

Parametry SiC potaženého grafitového barelového susceptoru

Hlavní specifikace povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Krystalová struktura	FCC β fáze
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdost	Tvrdost podle Vickerse	2500
Velikost zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimace	℃	2700
Felexurální síla	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngův modul	Gpa (4pt ohyb, 1300℃)	430
Tepelná expanze (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivost	(W/mK)	300

Vlastnosti grafitového barelového susceptoru potaženého SiC

- Grafitový substrát i vrstva karbidu křemíku mají dobrou hustotu a mohou hrát dobrou ochrannou roli ve vysokoteplotních a korozivních pracovních prostředích.

- Susceptor potažený karbidem křemíku používaný pro růst monokrystalů má velmi vysokou rovinnost povrchu.

- Snižte rozdíl v koeficientu tepelné roztažnosti mezi grafitovým substrátem a vrstvou karbidu křemíku, účinně zlepšujte pevnost spojení, aby se zabránilo praskání a delaminaci.

- Grafitový substrát i vrstva karbidu křemíku mají vysokou tepelnou vodivost a vynikající vlastnosti distribuce tepla.

- Vysoký bod tání, odolnost proti oxidaci při vysokých teplotách, odolnost proti korozi.