Susceptor růstu krystalů potažený SiC

Díky svému vysokému bodu tání, odolnosti proti oxidaci a odolnosti proti korozi je Semicorex SiC potažený krystalický růstový susceptor ideální volbou pro použití v aplikacích pro růst monokrystalů. Jeho povlak z karbidu křemíku poskytuje vynikající rovinnost a vlastnosti distribuce tepla, takže je ideální volbou pro prostředí s vysokou teplotou.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Krystalový růstový susceptor s povlakem Semicorex SiC je perfektní volbou pro tvorbu epitaxní vrstvy na polovodičových destičkách díky své výjimečné tepelné vodivosti a vlastnostem distribuce tepla. Jeho vysoce čistý SiC povlak poskytuje vynikající ochranu i v těch nejnáročnějších vysokoteplotních a korozivních prostředích.
Náš krystalický růstový susceptor potažený SiC je navržen tak, aby dosáhl nejlepšího laminárního vzoru proudění plynu a zajistil rovnoměrnost tepelného profilu. To pomáhá předcházet jakékoli kontaminaci nebo difúzi nečistot a zajišťuje vysoce kvalitní epitaxní růst na waferovém čipu.
Kontaktujte nás ještě dnes a zjistěte více o našem krystalovém růstovém susceptoru potaženém SiC.

Parametry růstového susceptoru krystalů potažených SiC

Hlavní specifikace povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Krystalová struktura	FCC β fáze
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdost	Tvrdost podle Vickerse	2500
Velikost zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimace	℃	2700
Felexurální síla	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngův modul	Gpa (4pt ohyb, 1300℃)	430
Tepelná expanze (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivost	(W/mK)	300

Vlastnosti krystalového růstového susceptoru potaženého SiC

- Grafitový substrát i vrstva karbidu křemíku mají dobrou hustotu a mohou hrát dobrou ochrannou roli ve vysokoteplotním a korozivním pracovním prostředí.

- Susceptor potažený karbidem křemíku používaný pro růst monokrystalů má velmi vysokou rovinnost povrchu.

- Snižte rozdíl v koeficientu tepelné roztažnosti mezi grafitovým substrátem a vrstvou karbidu křemíku, účinně zlepšujte pevnost spojení, aby se zabránilo praskání a delaminaci.

- Grafitový substrát i vrstva karbidu křemíku mají vysokou tepelnou vodivost a vynikající vlastnosti distribuce tepla.

- Vysoký bod tání, odolnost proti oxidaci při vysokých teplotách, odolnost proti korozi.