Ohřívač plátků potažený SiC

Semicorex je předním nezávislým výrobcem grafitu potaženého karbidem křemíku, precizně obrobeného grafitu s vysokou čistotou se zaměřením na oblasti výroby polovodičů s karbidem křemíku, keramikou z karbidu křemíku, MOCVP. Náš SiC Coated Wafer Heater má dobrou cenovou výhodu a pokrývá mnoho evropských a amerických trhů. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Semicorex SiC Coated Wafer Heater může pracovat ve vysokoteplotní peci s více než 3000 °C v inertní atmosféře, 2200 °C ve vakuu. Vysoce čistý ohřívač plátků s povlakem SiC poskytuje vynikající tepelnou odolnost, rovnoměrnou tepelnou rovnoměrnost pro konzistentní tloušťku a odolnost epi vrstvy a trvalou chemickou odolnost. Jemný krystalový povlak SiC poskytuje čistý, hladký povrch, který je kritický pro manipulaci, protože nedotčené plátky se dotýkají susceptoru na mnoha místech po celé své ploše.
Ve společnosti Semicorex se zaměřujeme na poskytování vysoce kvalitního, nákladově efektivního ohřívače plátků s povlakem SiC, upřednostňujeme spokojenost zákazníků a poskytujeme nákladově efektivní řešení. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem, který bude dodávat vysoce kvalitní produkty a výjimečné služby zákazníkům.

Parametry ohřívače plátků s povlakem SiC

Technická specifikace	VET-M3
Objemová hustota (g/cm3)	≥1,85
Obsah popela (PPM)	≤500
Tvrdost Shore	≥45
Specifický odpor (μ.Ω.m)	≤12
Pevnost v ohybu (Mpa)	≥40
Pevnost v tlaku (Mpa)	≥70
Max. Velikost zrna (μm)	≤43
Součinitel tepelné roztažnosti Mm/°C	≤4,4*10-6

Vlastnosti ohřívače plátků s povlakem SiC

- Vysoce čistý grafit potažený SiC
- Vynikající tepelná odolnost a tepelná rovnoměrnost
- Jemný krystal SiC potažený pro hladký povrch
- Vysoká odolnost proti chemickému čištění
- Materiál je navržen tak, aby nedocházelo k prasklinám a delaminaci.