Procesní ohřívač oplatek

Semicorex je velký výrobce a dodavatel grafitových susceptorů potažených karbidem křemíku v Číně. Zaměřujeme se na polovodičový průmysl, jako jsou vrstvy karbidu křemíku a epitaxní polovodiče. Náš ohřívač oplatek má dobrou cenovou výhodu a pokrývá mnoho evropských a amerických trhů. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Semicorex Wafer Process Heater je vyroben z grafitu s povlakem karbidu křemíku (SiC), povlak je aplikován metodou CVD na konkrétní druhy grafitu s vysokou hustotou, takže může pracovat ve vysokoteplotní peci s více než 3000 °C v inertní atmosféře, 2200 °C ve vakuu.
Speciální vlastnosti a nízká hmotnost materiálu Wafer Process Heater umožňují rychlé rychlosti ohřevu, rovnoměrné rozložení teploty a vynikající přesnost ovládání. Ve srovnání s jinými materiály zůstává povrch karbidu křemíku plochý díky své nízké tepelné roztažnosti i při provozu s rychlými změnami teplot. Topné desky jsou velmi vhodné pro náročné procesy v systémech zpracování polovodičů.
Ve společnosti Semicorex se zaměřujeme na poskytování vysoce kvalitních a cenově výhodných produktů našim zákazníkům. Náš ohřívač Wafer Process Heater má cenovou výhodu a je vyvážen na mnoho evropských a amerických trhů. Naším cílem je být vaším dlouhodobým partnerem, dodávat produkty konzistentní kvality a výjimečné služby zákazníkům.

Parametry ohřívače oplatkového procesu

Technická specifikace	VET-M3
Objemová hustota (g/cm3)	≥1,85
Obsah popela (PPM)	≤500
Tvrdost Shore	≥45
Specifický odpor (μ.Ω.m)	≤12
Pevnost v ohybu (Mpa)	≥40
Pevnost v tlaku (Mpa)	≥70
Max. Velikost zrna (μm)	≤43
Součinitel tepelné roztažnosti Mm/°C	≤4,4*10-6

Vlastnosti ohřívače oplatkového procesu

- CVD SiC povlaky pro zlepšení životnosti.
- Vysoká teplotní odolnost, odolnost proti korozi, dlouhá životnost, může zlepšit kvalitu a výtěžnost plátků.
- Má extrémně nízký koeficient tepelné roztažnosti, vysokou teplotní odolnost, vysokou odolnost proti opotřebení, dobrou izolaci, dobrou chemickou stabilitu a téměř fialové (červené) pronikání viditelného světla.

Můžeme poskytnout antioxidační grafitový kelímek s dlouhou životností, grafitovou formu a všechny části grafitového ohřívače.