Víko komory z karbidu křemíku

Víko komory z karbidu křemíku používané při růstu krystalů a zpracování waferů musí vydržet vysoké teploty a drsné chemické čištění. Semicorex je velký výrobce a dodavatel grafitových susceptorů potažených karbidem křemíku v Číně. Naše produkty mají dobrou cenovou výhodu a pokrývají mnoho evropských a amerických trhů. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Víko komory z karbidu křemíku používané při růstu monokrystalů nebo MOCVD nebo zpracování při manipulaci s plátkem musí vydržet vysoké teploty a drsné chemické čištění. Semicorex dodává grafitovou konstrukci potaženou vysoce čistým karbidem křemíku (SiC), která poskytuje vynikající tepelnou odolnost, rovnoměrnou tepelnou rovnoměrnost pro konzistentní tloušťku a odolnost epi vrstvy a trvanlivou chemickou odolnost. Jsou odolné vůči kombinaci těkavých prekurzorových plynů, plazmy a vysoké teploty.
Naše víko komory z karbidu křemíku je navrženo tak, aby bylo dosaženo nejlepšího vzoru laminárního proudění plynu a zajistila rovnoměrnost tepelného profilu. To pomáhá předcházet jakékoli kontaminaci nebo difúzi nečistot a zajišťuje vysoce kvalitní epitaxní růst na waferovém čipu.
Kontaktujte nás ještě dnes a zjistěte více o našem víku komory z karbidu křemíku.

Parametry víka komory z karbidu křemíku

Hlavní specifikace povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Krystalová struktura	FCC β fáze
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdost	Tvrdost podle Vickerse	2500
Velikost zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimace	℃	2700
Felexurální síla	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngův modul	Gpa (4pt ohyb, 1300℃)	430
Tepelná expanze (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivost	(W/mK)	300