Ruce robota sic

Hands robotů Semicorex SIC jsou nejnovější v koncových efektorech určených pro aplikace pro přenos oplatky robotiky v oblasti výroby polovodičů. Vyrobeno z vysoce výkonných materiálů jsme vytvořili tyto robotické ruce keramikou křemíkového karbidu (SIC), abychom zajistili maximální tepelnou tabulku, chemickou stabilitu a mechanickou pevnost pro stále tvrdší prostředí výroby nebo manipulace s oplatkou.

Ústřední pro naše ruce sic robotů je náš proprietární pokročilýkřemíkový karbidZnámý pro svou vysokou tvrdost (MOHS 9), vysoká tepelná vodivost a odolnost proti korozi. Na rozdíl od tradičních materiálů, jako je hliník nebo nerezová ocel, je SIC kompatibilní s tvrdým prostředím zpracování polovodičů, včetně zpracovaných vysokých teplot a reaktivních plynů. Nabízíme dlouhodobou trvanlivost a minimalizujeme kontaminaci, v souladu s přísnou čistotou potřebnou pro výrobu oplatky.

Polovodičové vybavení s rukama sic robotů používá k získání oplatky, tj. Polovodičová oplatka je adsorbována na křemenném nebo keramickém prstu, která následuje přeprava, následovanou přepravou pomocí mechanického akčního ramene, které se rozšiřují, rotují a zvedají pohyby.

„Vysoká rychlost“ a „čistota“ jsou základními vlastnostmi zařízení pro manipulaci s polovodiči. Pro splnění těchto charakteristik má zařízení extrémně přísné požadavky na výkon použitých komponent. Protože většina procesů je prováděna ve vakuu, vysoká teplota a korozivní plynové prostředí, manipulační rameno používané v zařízení musí mít vynikající fyzikální vlastnosti, jako jsou: vysoká mechanická pevnost, odolnost proti korozi, odolnost proti vysoké teplotě, odolnost proti opotřebení, vysoká tvrdost, izolace atd. A pokročilé keramické materiály mohou tyto podmínky splnit.

Keramika karbidu křemíkuMějte fyzikální vlastnosti husté textury, vysokou tvrdost, vysokou odolnost proti opotřebení, jakož i dobrou odolnost proti teplu, vynikající mechanickou pevnost, dobrou izolaci v prostředí s vysokou teplotou, dobrou odolnost proti korozi a další fyzikální vlastnosti. Je to vynikající materiál pro výrobu polovodičových zařízení.

Naše robotické ruce sic si uvědomují, že robotické platformy se liší mezi výrobci FABS a nástrojů, jsou k dispozici v řadě standardizovaných velikostí a lze je přizpůsobit pro jedinečné konfigurace nástrojů. Montážní rozhraní, geometrie prstu a funkce podpory oplatky lze přizpůsobit tak, aby vyhovovaly konkrétním zařízením a procesům. Ať už přenášíte oplatky v rámci klastrových nástrojů, vakuových komor nebo systémů Foup, naše robotické ruce se bezproblémově integrují s předními robotickými značkami.

Každá ruka sic robota podléhá přísnému čištění, kontrole a balení, aby zajistila dodržování standardů čistého pokoje třídy 1. Neporéz, antistatický povrch SIC snižuje adhezi částic, zatímco robustní struktura odolává mikrofrakturách, které by mohly v průběhu času vést k tvorbě částic. Díky tomu jsou ideální pro front-end oplatky, kde i nejmenší kontaminace může vést k selhání zařízení.

Od implantace epitaxy a iontu po PVD, CVD a CMP jsou sic robotické ruce důvěryhodné v každém kroku výroby polovodičového zařízení. Jejich vynikající odolnost proti tepelnému šoku a plazmovému prostředí je činí nezbytnými v pokročilých logických a výkonech polovodičových linií, zejména tam, kde se používají substráty SIC oplatky.