Koncový efektor robota

Semicorex je předním nezávislým výrobcem grafitu potaženého karbidem křemíku, precizně obrobeného grafitu s vysokou čistotou se zaměřením na oblasti výroby polovodičů s karbidem křemíku, keramikou z karbidu křemíku, MOCVP. Náš Robot End Effector má dobrou cenovou výhodu a pokrývá mnoho evropských a amerických trhů. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Robot End Effector je ruka robota, která pohybuje polovodičovými destičkami mezi pozicemi v zařízení na zpracování destiček a nosiči. Robot End Effector musí být rozměrově přesný a tepelně stabilní a zároveň mít hladký povrch odolný proti oděru, aby bylo možné bezpečně manipulovat s destičkami bez poškození zařízení nebo produkování kontaminace částicemi. Náš vysoce čistý povlak z karbidu křemíku (SiC) Robot End Effector poskytuje vynikající tepelnou odolnost, rovnoměrnou tepelnou rovnoměrnost pro konzistentní tloušťku a odolnost epi vrstvy a trvalou chemickou odolnost.

Parametry Robot End Effector

Hlavní specifikace povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Krystalová struktura	FCC β fáze
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdost	Tvrdost podle Vickerse	2500
Velikost zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimace	℃	2700
Felexurální síla	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngův modul	Gpa (4pt ohyb, 1300℃)	430
Tepelná expanze (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivost	(W/mK)	300