Tenký plátek polovodičového materiálu se nazývá wafer, který je vyroben z velmi čistého monokrystalického materiálu. V Czochralského procesu je válcový ingot z vysoce čistého monokrystalického polovodiče vyroben vytažením zárodečného krystalu z taveniny.
Karbid křemíku (SiC) a jeho polytypy jsou součástí lidské civilizace již dlouhou dobu; Technický význam této tvrdé a stabilní směsi si uvědomili v letech 1885 a 1892 Cowless a Acheson pro účely broušení a řezání, což vedlo k její výrobě ve velkém měřítku.
Díky vynikajícím fyzikálním a chemickým vlastnostem je karbid křemíku (SiC) prominentním kandidátem pro různé aplikace, včetně vysokoteplotních, vysoce výkonných a vysokofrekvenčních a optoelektronických zařízení, konstrukčních součástí fúzních reaktorů, obalového materiálu pro plynem chlazené štěpné reaktory a inertní matrice pro transmutaci Pu. Široce se používají různé polytypy SiC, jako je 3C, 6H a 4H. Iontová implantace je kritickou technikou pro selektivní zavedení dopantů pro výrobu zařízení na bázi Si, pro výrobu SiC waferů typu p a n.
Slitekse pak nakrájí na plátky z karbidu křemíku SiC.
Vlastnosti materiálu karbidu křemíku
Polytyp |
Single-Crystal 4H |
Krystalová struktura |
Šestihranný |
Bandgap |
3,23 eV |
Tepelná vodivost (typ n; 0,020 ohm-cm) |
a~4,2 W/cm • K @ 298 K c~3,7 W/cm • K @ 298 K |
Tepelná vodivost (HPSI) |
a~4,9 W/cm • K @ 298 K c~3,9 W/cm • K @ 298 K |
Parametry mřížky |
a=3,076 Á c = 10,053 Á |
Mohsova tvrdost |
~9.2 |
Hustota |
3,21 g/cm3 |
Therm. Expanzní koeficient |
4-5 x 10-6/K |
Různé typy SiC waferů
Existují tři typy:sic wafer typu n, oplatka sic typu pavysoce čistá poloizolační sic wafer. Doping označuje iontovou implantaci, která zavádí nečistoty do křemíkového krystalu. Tyto příměsi umožňují atomům krystalu tvořit iontové vazby, díky čemuž je kdysi vnitřní krystal vnější. Tento proces zavádí dva typy nečistot; N-typ a P-typ. „Typ“, kterým se stane, závisí na materiálech použitých k vytvoření chemické reakce. Rozdíl mezi destičkou SiC typu N a typu P je primární materiál používaný k vytvoření chemické reakce během dopingu. V závislosti na použitém materiálu bude mít vnější orbital buď pět nebo tři elektrony, přičemž jeden bude záporně nabitý (typ N) a jeden kladně nabitý (typ P).
SiC wafery typu N se používají hlavně v nových energetických vozidlech, vysokonapěťových přenosech a rozvodnách, bílé technice, vysokorychlostních vlacích, motorech, fotovoltaických invertorech, pulzních napájecích zdrojích atd. Jejich výhodou je snížení energetických ztrát zařízení, zlepšení spolehlivost zařízení, zmenšení velikosti zařízení a zlepšení výkonu zařízení a mají nenahraditelné výhody při výrobě výkonových elektronických zařízení.
Vysoce čistý poloizolační SiC plátek se používá hlavně jako substrát vysokovýkonných RF zařízení.
Epitaxe - depozice nitridů III-V
SiC, GaN, AlxGa1-xN a InyGa1-yN epitaxní vrstvy na SiC substrátu nebo safírovém substrátu.
Semicorex poskytuje různé typy 4H a 6H SiC waferů. Již řadu let vyrábíme a dodáváme oplatky. Náš dvojitě leštěný 6palcový SiC Wafer typu N má dobrou cenovou výhodu a pokrývá většinu evropských a amerických trhů. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex poskytuje různé typy 4H a 6H SiC waferů. Již mnoho let jsme výrobcem a dodavatelem produktů z karbidu křemíku. Náš 4palcový SiC substrát typu N má dobrou cenovou výhodu a pokrývá většinu evropských a amerických trhů. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex poskytuje různé typy 4H a 6H SiC waferů. Již mnoho let jsme výrobcem a dodavatelem produktů z karbidu křemíku. Naše dvojitě leštěná 6palcová poloizolační deska HPSI SiC má dobrou cenovou výhodu a pokrývá většinu evropských a amerických trhů. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex poskytuje různé typy 4H a 6H SiC waferů. Již mnoho let jsme výrobcem a dodavatelem oplatkových substrátů. Náš 4palcový vysoce čistý poloizolační HPSI SiC oboustranně leštěný plátkový substrát má dobrou cenovou výhodu a pokrývá většinu evropských a amerických trhů. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotaz