Keramické oplatkové čluny z karbidu křemíku

Výběr prémiového materiálu

Vynikající vlastnosti keramiky z karbidu křemíku Semicorexoplatkové člunylze přičíst vysoce kvalitním surovinám. Keramické destičky z karbidu křemíku, vyrobené z polovodičového materiálu SiSiC a pokryté CVD SiC povlakem, vykazují následující vynikající vlastnosti.

1. Ultra vysoká čistota, bez uvolňování kovových nečistot

Nečistota substrátu: ＜100 ppm

Nečistota povlaku CVD SiC: ＜1 ppm

2.Vynikající tepelná stabilita

Keramické waferové čluny z karbidu křemíku jsou schopny stabilně fungovat v podmínkách vysoké teploty 1250 ℃, poskytují minimální deformaci a odolnost proti tečení.

3.Vysoká mechanická pevnost

Karbid křemíkumá vysokou tvrdost a odolnost proti opotřebení, což umožňuje keramickým plátkům z karbidu křemíku Semicorex odolávat poškrábání, oděru a poškození, takže fungují dobře při dlouhodobém provozu a jsou odolné vůči poškození.

4. Výjimečná odolnost proti korozi

Vzhledem k tomu, že karbid křemíku je odolný vůči korozi silnými kyselinami a zásadami, keramické čluny z karbidu křemíku Semicorex si mohou zachovat svou strukturální integritu a funkční výkon i za vysoce korozivních pracovních podmínek.

Optimalizovaný konstrukční návrh

Keramické destičky z karbidu křemíku Semicorex jsou navrženy pro dávkové zpracování destiček, jejich optimalizovaná konstrukční struktura zajišťuje stabilní podporu dávkových destiček a konzistentní stabilitu procesu pro každou destičku.

Vertikální nosná konstrukce 1,3 sloupku

Vertikální struktura keramických plátků z karbidu křemíku Semicorex jim umožňuje bezproblémově odpovídat aplikacím vertikálních pecí. Díky této struktuře mohou keramické oplatkové čluny emicorex z karbidu křemíku usnadnit homogenní cirkulaci procesních plynů a rovnoměrnou distribuci tepelné energie ve vysokoteplotní peci.

2. Rovnoměrně rozmístěné štěrbiny

Keramické čluny z karbidu křemíku Semicorex jsou vybaveny vícenásobnými přesně obrobenými štěrbinami na jejich nosných sloupcích. Jejich rovnoměrně rozmístěné svěrky štěrbin dosahují vhodné rozteče štěrbin, což umožňuje keramickým destičkám z karbidu křemíku pevně zajistit polovodičové destičky, čímž přispívá ke zlepšení konzistence výsledků tepelného zpracování destiček.

S tolika vynikajícími výkony a funkcemi jsou keramické destičky z karbidu křemíku Semicorex široce používány v klíčových procesech výroby polovodičových destiček, jako je oxidace, difúze, iontová implantace a vysokoteplotní žíhání.