Grafitová hlaveň potažená karbidem křemíku

Semicorex Silicon Carbide-Coated Graphite Barrel je perfektní volbou pro aplikace výroby polovodičů, které vyžadují vysokou odolnost vůči teplu a korozi. Díky své výjimečné tepelné vodivosti a vlastnostem distribuce tepla je ideální pro použití v procesech LPE a dalších vysokoteplotních prostředích.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Pokud jde o výrobu polovodičů, Semicorex Silicon Carbide-Coated Graphite Barrel je nejlepší volbou pro výjimečný výkon a spolehlivost. Jeho vysoce kvalitní SiC povlak a vynikající hustota a tepelná vodivost poskytují vynikající distribuci tepla a ochranu i v těch nejnáročnějších vysokoteplotních a korozivních prostředích.

Naše grafitová hlaveň potažená karbidem křemíku zajišťuje rovnoměrný tepelný profil a zaručuje nejlepší laminární proudění plynu. Zabraňuje jakékoli kontaminaci nebo nečistotám v difuzi do plátku, takže je ideální pro použití v prostředí čistých prostor. Semicorex je velký výrobce a dodavatel grafitového susceptoru potaženého SiC v Číně a naše produkty mají dobrou cenovou výhodu. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v polovodičovém průmyslu.

Parametry grafitového sudu potaženého karbidem křemíku

Hlavní specifikace povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Krystalová struktura	FCC β fáze
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdost	Tvrdost podle Vickerse	2500
Velikost zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimace	℃	2700
Felexurální síla	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngův modul	Gpa (4pt ohyb, 1300℃)	430
Tepelná expanze (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivost	(W/mK)	300

Vlastnosti grafitové hlavně potažené karbidem křemíku

- Grafitový substrát i vrstva karbidu křemíku mají dobrou hustotu a mohou hrát dobrou ochrannou roli ve vysokoteplotním a korozivním pracovním prostředí.

- Susceptor potažený karbidem křemíku používaný pro růst monokrystalů má velmi vysokou rovinnost povrchu.

- Snižte rozdíl v koeficientu tepelné roztažnosti mezi grafitovým substrátem a vrstvou karbidu křemíku, účinně zlepšujte pevnost spojení, aby se zabránilo praskání a delaminaci.

- Grafitový substrát i vrstva karbidu křemíku mají vysokou tepelnou vodivost a vynikající vlastnosti distribuce tepla.

- Vysoký bod tání, odolnost proti oxidaci při vysokých teplotách, odolnost proti korozi.