TaC potahový grafit je vytvořen potažením povrchu vysoce čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesem chemické depozice z plynné fáze (CVD).
Karbid tantalu (TaC) je sloučenina, která se skládá z tantalu a uhlíku. Má kovovou elektrickou vodivost a výjimečně vysoký bod tání, což z něj činí žáruvzdorný keramický materiál známý svou pevností, tvrdostí a odolností vůči teplu a opotřebení. Teplota tání karbidů tantalu vrcholí při asi 3880 °C v závislosti na čistotě a má jednu z nejvyšších teplot tání mezi binárními sloučeninami. To z něj činí atraktivní alternativu, když požadavky na vyšší teplotu překračují výkonnostní možnosti používané v epitaxních procesech složených polovodičů, jako jsou MOCVD a LPE.
Materiálové údaje Semicorex TaC Coating
Projekty |
Parametry |
Hustota |
14,3 (gm/cm³) |
Emisivita |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Tvrdost (HK) |
2000 |
Odpor (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Tepelná stabilita |
<2500 ℃ |
Změna rozměru grafitu |
-10~-20um (referenční hodnota) |
Tloušťka povlaku |
≥20um typická hodnota (35um±10um) |
|
|
Výše uvedené jsou typické hodnoty |
|
Porézní grafit s povlakem Semicorex TaC je pokročilý vysoce čistý materiál na zpracování polovodičů. Toto klíčové zařízení hraje klíčovou roli v procesu růstu monokrystalu SiC. Semicorex se zavázal poskytovat kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny, těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazJako profesionální výrobce bychom vám rádi poskytli kroužky potažené TaC. Představujeme CVD Tac Coated Ring, nejmodernější řešení pro polovodičová zařízení. Tento špičkový produkt se může pochlubit pokročilou vrstvou chemického nanášení z plynné fáze (CVD), která poskytuje výjimečnou životnost a odolnost proti opotřebení.
Přečtěte si víceOdeslat dotazPředstavujeme kelímek potažený CVD Tac, dokonalé řešení pro výrobce polovodičových zařízení a uživatele, kteří požadují nejvyšší úroveň kvality a výkonu. Naše kelímky jsou potaženy nejmodernější vrstvou CVD Tac (karbid tantalu), která poskytuje vynikající odolnost proti korozi a opotřebení, díky čemuž jsou ideální pro použití v různých polovodičových aplikacích.
Přečtěte si víceOdeslat dotaz