TaC potahový grafit je vytvořen potažením povrchu vysoce čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesem chemické depozice z plynné fáze (CVD).
Karbid tantalu (TaC) je sloučenina, která se skládá z tantalu a uhlíku. Má kovovou elektrickou vodivost a výjimečně vysoký bod tání, což z něj činí žáruvzdorný keramický materiál známý svou pevností, tvrdostí a odolností vůči teplu a opotřebení. Teplota tání karbidů tantalu vrcholí při asi 3880 °C v závislosti na čistotě a má jednu z nejvyšších teplot tání mezi binárními sloučeninami. To z něj činí atraktivní alternativu, když požadavky na vyšší teplotu překračují výkonnostní možnosti používané v epitaxních procesech složených polovodičů, jako jsou MOCVD a LPE.
Materiálové údaje Semicorex TaC Coating
Projekty |
Parametry |
Hustota |
14,3 (gm/cm³) |
Emisivita |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Tvrdost (HK) |
2000 |
Odpor (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Tepelná stabilita |
<2500 ℃ |
Změna rozměru grafitu |
-10~-20um (referenční hodnota) |
Tloušťka povlaku |
≥20um typická hodnota (35um±10um) |
|
|
Výše uvedené jsou typické hodnoty |
|
Semicorex TaC Coating Jig stojí jako klíčová součást v procesu výroby polovodičů, je pečlivě vyroben z grafitu a posílen pružnou vrstvou povlaku karbidu tantalu. Tento klíčový prvek vybavení ztělesňuje spojení nejmodernější vědy o materiálech a přesného inženýrství, navržené tak, aby vyhovovalo přísným provozním požadavkům a náročným standardům převládajícím ve výrobě polovodičů. Semicorex se zavázal poskytovat kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny, těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex TaC Coating Susceptor představuje vrchol v materiálovém inženýrství, pečlivě vyrobený z vysoce kvalitního grafitu a zesílený povlakem z karbidu tantalu. Tato inovativní součást, která je primárně navržena pro použití v oblasti růstu krystalů SiC a epitaxních procesů SiC, představuje maják odolnosti a výkonu v extrémních tepelných a chemických prostředích. Semicorex se zavázal poskytovat kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny, těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex Tantalum Carbide Coated Ring je klíčová součást používaná při zpracování polovodičů. Je navržen se specializovaným povlakem, který slouží více funkcím ke zvýšení účinnosti a dlouhé životnosti grafitových součástí v polovodičových strojích. Semicorex se zavázal poskytovat kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny, těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex TaC Coated Graphite Parts jsou precizně vyrobené komponenty, které jsou speciálně navrženy tak, aby obstály v náročném prostředí zpracování polovodičů. Semicorex se zavázal poskytovat kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny, těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex TaC Coating Graphite Cover představuje špičkové řešení v oblasti tepelných aplikací pro růst krystalů a epitaxní (epi) procesy. Semicorex se zavázal poskytovat kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny, těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex TaC Coating Ring stojí jako klíčová součást v oblasti růstu monokrystalů v tepelném poli. Tento specializovaný vodicí kroužek, vyrobený s přesností a inovací, hraje klíčovou roli ve složitém procesu výroby monokrystalických materiálů. Semicorex se zavázal poskytovat kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny, těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotaz