Batch Wafer Boat

Semicorex nabízí čluny, podstavce a vlastní nosiče destiček pro vertikální / sloupcové i horizontální konfigurace. Již mnoho let jsme výrobcem a dodavatelem povlaků z karbidu křemíku. Náš Batch Wafer Boat má dobrou cenovou výhodu a pokrývá většinu evropských a amerických trhů. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Semicorex Batch Wafer Boat jsou vyrobeny z vysoce kvalitního keramického materiálu z karbidu křemíku pro vynikající chemickou odolnost a tepelnou stabilitu.
Náš Batch Wafer Boat má hladký povrch a poskytuje vynikající podporu a ochranu plátků během zpracování. Povlak SiC zajišťuje rovnoměrnost a stabilitu během zpracování a chrání plátky před kontaminací a poškozením. Díky vynikající tepelné vodivosti a vynikající mechanické pevnosti poskytují naše držáky destiček konzistentní a spolehlivé výsledky.
Náš tým odborníků se zavázal poskytovat nejlepší kvalitu a služby. Nabízíme vlastní návrhy, které splňují vaše specifické požadavky, a naše dávkové oplatkové čluny jsou podporovány naším programem zajištění kvality.

Parametry Batch Wafer Boat

Technické vlastnosti
Index	Jednotka	Hodnota
Název materiálu		Reakce Slinutý karbid křemíku	Beztlakový slinutý karbid křemíku	Rekrystalizovaný karbid křemíku
Složení		RBSiC	SSiC	R-SiC
Objemová hustota	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Pevnost v ohybu	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20 °C) 90-100 (1400 °C)
Pevnost v tlaku	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Tvrdost	Knoop	2700	2800	/
Prolomení houževnatosti	MPa m1/2	4.5	4	/
Tepelná vodivost	W/m.k	95	120	23
Koeficient tepelné roztažnosti	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Specifické teplo	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Maximální teplota vzduchu	℃	1200	1500	1600
Elastický modul	Gpa	360	410	240

Rozdíl mezi SSiC a RBSiC:

1. Proces slinování je odlišný. RBSiC má infiltrovat volný Si do karbidu křemíku při nízké teplotě, SSiC vzniká přirozeným smrštěním při 2100 stupních.

2. SSiC mají hladší povrch, vyšší hustotu a vyšší pevnost, pro některá těsnění s přísnějšími požadavky na povrch bude SSiC lepší.

3. Různá doba použití při různém PH a teplotě, SSiC je delší než RBSiC

Vlastnosti Batch Wafer Boat

- Vysoká pevnost (tvrdost podle Mohse 9,5, druhá po diamantu)
- Odolnost proti korozi vůči kyselinám, zásadám, solím a organickým rozpouštědlům
- Vysoká tepelná vodivost, odolnost vůči plazmatu, dlouhá životnost
- Polovodiče