Keramický nosič plátků

Semicorex poskytuje keramiku polovodičové kvality pro vaše nástroje pro polovýrobu OEM a komponenty pro manipulaci s destičkami se zaměřením na vrstvy karbidu křemíku v polovodičovém průmyslu. Již mnoho let jsme výrobcem a dodavatelem nosiče keramických destiček. Naše produkty mají dobrou cenovou výhodu a pokrývají většinu evropských a amerických trhů. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Keramické nosiče z karbidu křemíku mají dobrou odolnost proti korozi a vynikající odolnost vůči vysokým teplotám a teplotním šokům. Vysoký modul pružnosti má navíc za následek vynikající rozměrovou stabilitu. Navíc je zde nulová poréznost a nízká hustota pórů keramického materiálu.
Můžeme zpracovat všechny druhy keramických nosičů plátků podle požadavků zákazníků.

Parametry keramického nosiče plátků

Technické vlastnosti
Index	Jednotka	Hodnota
Název materiálu		Reakce Slinutý karbid křemíku	Beztlakový slinutý karbid křemíku	Rekrystalizovaný karbid křemíku
Složení		RBSiC	SSiC	R-SiC
Objemová hustota	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Pevnost v ohybu	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20 °C) 90-100 (1400 °C)
Pevnost v tlaku	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Tvrdost	Tlačítko	2700	2800	/
Prolomení houževnatosti	MPa m1/2	4.5	4	/
Tepelná vodivost	W/m.k	95	120	23
Koeficient tepelné roztažnosti	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Specifické teplo	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Maximální teplota vzduchu	℃	1200	1500	1600
Elastický modul	Gpa	360	410	240

Semicorex vyráběl Ceramic Wafer Carrier ve třech formách, reakční slinutý karbid křemíku (RBSiC), beztlakový slinutý karbid křemíku (SSiC) a rekrystalický karbid křemíku (R-SiC).

Rozdíl mezi SSiC a RBSiC:

1. Proces slinování je odlišný. RBSiC má infiltrovat volný Si do karbidu křemíku při nízké teplotě, SSiC vzniká přirozeným smrštěním při 2100 stupních.

2. SSiC mají hladší povrch, vyšší hustotu a vyšší pevnost, pro některá těsnění s přísnějšími požadavky na povrch bude SSiC lepší.

3. Různá doba použití při různém PH a teplotě, SSiC je delší než RBSiC

Vlastnosti nosiče keramických plátků

Vysoce čistý grafit potažený SiC
Vynikající tepelná odolnost a tepelná rovnoměrnost
Jemný krystal SiC potažený pro hladký povrch
Vysoká odolnost proti chemickému čištění
Materiál je navržen tak, aby nedocházelo k prasklinám a delaminaci.

Dostupné tvary keramiky z karbidu křemíku：

● Keramická tyč / keramický kolík / keramický píst

● Keramická trubice / keramické pouzdro / keramické pouzdro

● Keramický kroužek / keramická podložka / keramická distanční vložka

● Keramický disk

● Keramická deska / keramický blok

● Keramická koule

● Keramický píst

● Keramická tryska

● Keramický kelímek

● Další zakázkové keramické díly