Vlastní SiC konzolové pádlo

Semicorex Custom SiC Cantilever Paddle slouží jako kritické spojení mezi systémem nakládání plátků a srdcem difúzní pece, které je odpovědné za přepravu člunů z křemene nebo plátků SiC naložených křemíkovými pláty do zóny zpracování při vysokých teplotách. Jejich design a vlastnosti materiálu jsou pečlivě optimalizovány pro tento náročný úkol:

Robustní konzolová konstrukce pro stabilní přepravu plátků:Konzolový design, vyznačující se pevným ramenem zasahujícím do pece, poskytuje výjimečnou stabilitu a přesnou kontrolu nad pohybem plátků. To zajišťuje hladkou přepravu bez vibrací a minimalizuje riziko zlomení plátku nebo nesprávného vyrovnání během nakládání a vykládání.

Vysoká kapacita pro efektivní dávkové zpracování:Vlastní pevnost a tuhost SiC keramiky umožňuje Custom SiC Cantilever Paddle pojmout velké zatížení křemíkových plátků, maximalizovat průchodnost každého difúzního cyklu a přispět k vyšším objemům výroby.

Přesná rozměrová kontrola pro bezproblémovou integraci: Custom SiC Cantilever Paddle je pečlivě vyrobeno podle přesných rozměrových specifikací, což zajišťuje dokonalé zapadnutí do systému difuzní pece a usnadňuje bezproblémovou integraci s automatizovanými roboty pro manipulaci s plátky.

Konkrétně výběr SiC keramikyReakčně vázaný karbid křemíku (RBSiC)aSlinutý karbid křemíku (SSiC), protože materiál volby pro Custom SiC Cantilever Paddle vychází z jejich výjimečných výkonnostních charakteristik v prostředí s vysokou teplotou:

Neochvějná stabilita při vysokých teplotách: Custom SiC Cantilever Paddle vykazuje výjimečnou odolnost vůči deformaci a tečení i při zvýšených teplotách (až 1600 °C), se kterými se setkáváme v difuzních pecích. To zajišťuje konzistentní podporu plátku a zabraňuje prohýbání nebo ohýbání, které by mohlo ohrozit rovnoměrnost plátku.

Výjimečná odolnost proti tepelným šokům:Schopnost odolat rychlým teplotním přechodům bez poškození je klíčová pro zachování integrity Custom SiC Cantilever Paddle během bezpočtu difúzních cyklů. SiC keramika v tomto ohledu vyniká, minimalizuje riziko prasknutí nebo zlomení, které by mohlo vést k nákladným prostojům.

Nízká tepelná roztažnost pro přesné vyrovnání:Minimální tepelná roztažnost SiC keramiky zajišťuje, že Custom SiC Cantilever Paddle si zachovává svou rozměrovou stabilitu v širokém rozsahu teplot během provozu. To je zásadní pro udržení přesného vyrovnání plátků v peci, zajištění rovnoměrného ohřevu a konzistentních difúzních profilů.