Horizontální komorní pec sic lodě

SIC SIC SIC SEMICOREX SIC SIC jsou vysoce inženýrskou součástí, která drží a nese oplatky nebo substráty, zatímco jsou vystaveny tepelnému zpracování s vysokou teplotou v horizontální komorové peci. Loď je vyrobena z vysoce čistého sic křemíkový karbid (sic), která poskytuje jedinečnou kombinaci pevnosti, tepelné stability a vysoké chemické odolnosti, které jsou vyžadovány v polovodičových, fotovoltaických a pokročilých keramických procesech. Patážní loď také působí jako tuhá struktura, která drží oplatky v poloze, rozměrová stabilita a přesnost oplatků se neztratí prodlouženou expozicí na extrémní teploty procesu.

Vynikající vlastnosti karbidu křemíku poskytují horizontální komorní pec sic lodě na vynikající výkonnostní výhodu ve srovnání s typickými materiály pro oplatkové lodě, jako je křemen nebo alumina. Mohou lépe odolávat vzácným krátkodobým cyklům zahřívání a chlazení kvůli svému vysokému bodu tání, odolnosti tepelného nárazu a mechanické pevnosti, bez ohledu na rychlost vytápění a chlazení nebo extrémy tepelného cyklu. Vzhledem k tomu, že horizontální pec se spoléhá výhradně na konzistenci pozic odol a na vystavení procesů, poskytuje správné zarovnání oplatků konzistentní výnos a opakovatelnost. Nízký koeficient tepelné roztažnosti znamená, že loď nebude narušit jeho život a poskytnout zadržený tvar a rozestupy oplatků.

Jemnozrnná, hustá struktura rekrystalizované SIC poskytuje pozoruhodnou odolnost vůči oxidaci, korozi a kontaminaci procesními plyny a vedlejšími produkty. Díky tomu je loď obzvláště výhodná pro procesy v agresivních atmosférách, jako je difúze, oxidace, LPCVD a žíhání. Vysoká chemická inertnost SIC se vyhýbá reakcím s povrchy destičky, čímž zachovává čistotu produktu a minimalizuje tvorbu částic v peci. SIC lodě mohou pomoci výrobcům, kteří potřebují splnit přísné požadavky na čistotu, poskytovat čistší prostředí zpracování a zlepšenou kvalitu oplatky.

Tyto lodě mohou být vyrobeny s různými složitými geometriemi a částečnými specifickými rozměry s přesnými technikami obrábění a formování. Konstrukce obecně používají více paralelních slotů/drážků k bezpečnému držení oplatků v horizontální orientaci a rovnoměrně vystavují celý povrch oplatky tepelným podmínkám. Rozteč a úhly slot-to-slot lze také optimalizovat tak, aby odpovídaly oplatkám jiných průměrů, jako je 150 mm, 200 mm nebo 300 mm, a přímý průtok vzduchu během zpracovatelských efektů při současném dosažení teplotní uniformity pro zpracování.

Horizontální komorní pec sic lodě mohou být nejen navrženy ve standardních odjezdech, ale mohou být navrženy tak, aby pracovaly s automatizovanými nakladači oplatky, což má za následek bezproblémovou integraci do moderních vysoce výkonných výrobních linků. Robustní design také způsobí, že lodě při manipulaci snižují nebo se rozbijí a sníží prostoje a náklady na výměnu.

Tepelná vodivostkřemíkový karbidPředstavuje další klíčovou výhodu, která usnadňuje účinný přenos tepla mezi oplatky a prostředím pece. Výhodou je, že výrobci jsou schopni dosáhnout jednotných podmínek zpracování a zkrátit doby cyklu, což může zvýšit účinnost výroby. SIC lodě poskytují konzistentní a opakovatelné výsledky, zda se používají pro výrobu polovodičů, výrobu solárních článků nebo jiné pokročilé zpracování materiálů při zvýšených teplotách.

Stručně řečeno, horizontální komorní pec sic lodě jsou klíčovou součástí pro výrobce, kteří chtějí produkovat oplatky s vysoce výkonnými, dlouhodobými a kontaminačními nosiči odolnými odolnými. Má mechanickou pevnost, tepelnou stabilitu a chemickou netrpělivost, která je v horizontálních aplikacích neomezena. Výběrem lodí karbidu křemíku mohou operátoři využívat lepší kontrolu procesů, vyšší výnosy a minimalizovat provozní přerušení v důsledku údržby. Celkově zajišťuje efektivnější a nákladově efektivnější produkce.