Horizontální čluny z karbidu křemíku

Semicorex horizontálníčluny z karbidu křemíkujsou integrálně formovány pomocí technologie 3D tisku a poté vyrobeny vysokoteplotním slinováním. Tyto komponenty jsou účelově zkonstruovány tak, aby vyhovovaly různým velikostem vysokoteplotních horizontálních pecí, a jsou široce používány pro pevné uchování plátků v kritických vysokoteplotních výrobních procesech polovodičů, včetně difúze, oxidace a chemického nanášení par.

Fyzikálně-chemické vlastnosti karbidu křemíku

Výhody horizontální lodi z karbidu křemíku Semicorexs

1. Stabilní podpora a poloha

Bezkonkurenční pevnost materiálu a tvrdost dává horizontálním člunům z karbidu křemíku Semicorex vynikající nosnou kapacitu, která jim umožňuje stabilně nést několik plátků současně. Prostřednictvím přesného obrábění drážek mohou horizontální čluny z karbidu křemíku pevně fixovat a bezpečně držet polovodičové destičky. Rovnoměrně rozmístěná štěrbinová struktura zajišťuje, že wafery si udržují pevnou polohu během celého cyklu zpracování, čímž je zaručena konzistentnost a přesnost výrobních procesů polovodičů.

2. Kompatibilita se složitými provozními podmínkami

Díky své vynikající odolnosti vůči vysokým teplotám a odolnosti proti korozi jsou horizontální čluny z karbidu křemíku Semicorex schopny odolat náročným provozním prostředím, jako jsou vysokoteplotní atmosféry kyslíku, dusíku nebo chlorovodíku s nízkou koncentrací. Tyto výjimečné materiálové vlastnosti mohou účinně zabránit korozi a poškození způsobenému vysokoteplotními korozivními plyny, což výrazně prodlužuje provozní životnost člunů.

3. Výjimečný výkon v oblasti čistoty

Na rozdíl od běžných grafitových člunů potažených karbidem křemíku jsou horizontální čluny z karbidu křemíku vyrobeny z polovodičové kvality s vysokou čistotoukarbid křemíku(99,999 %) s ultra nízkým obsahem nečistot. Tento výběr prémiových materiálů eliminuje riziko úniku kontaminantů nebo odlupování povlaku, a to i při vystavení vysokým teplotám a drsnému korozivnímu prostředí. Každá z našich lodí z karbidu křemíku je navíc před vakuovým balením podrobena přísným ultrazvukovým čisticím procesům, což zaručuje shodu se standardy čistoty vyžadovanými pokročilými procesy výroby polovodičů.