Semicorex je velký výrobce a dodavatel grafitu potaženého karbidem křemíku v Číně. Naše vstupní kroužky MOCVD mají dobrou cenovou výhodu a pokrývají mnoho evropských a amerických trhů. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem.
Semicorex dodává vstupní kroužky MOCVD používané při nanášení a zpracování plátků, které jsou skutečně stabilní pro RTA, RTP nebo drsné chemické čištění. Naše vstupní kroužky MOCVD mají grafitovou konstrukci potaženou vysoce čistým karbidem křemíku (SiC), která poskytuje vynikající tepelnou odolnost, rovnoměrnou tepelnou rovnoměrnost pro konzistentní tloušťku a odolnost epi vrstvy a trvalou chemickou odolnost. Jemný krystalový povlak SiC poskytuje čistý, hladký povrch, který je kritický pro manipulaci, protože nedotčené plátky se dotýkají susceptoru na mnoha místech po celé své ploše.
Ve společnosti Semicorex se zaměřujeme na poskytování vysoce kvalitních, nákladově efektivních vstupních kroužků MOCVD, upřednostňujeme spokojenost zákazníků a poskytujeme nákladově efektivní řešení. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem, který bude dodávat vysoce kvalitní produkty a výjimečné služby zákazníkům.
Parametry vstupních kroužků MOCVD
Hlavní specifikace povlaku CVD-SIC |
||
Vlastnosti SiC-CVD |
||
Krystalová struktura |
FCC β fáze |
|
Hustota |
g/cm³ |
3.21 |
Tvrdost |
Tvrdost podle Vickerse |
2500 |
Velikost zrna |
μm |
2~10 |
Chemická čistota |
% |
99.99995 |
Tepelná kapacita |
J kg-1 K-1 |
640 |
Teplota sublimace |
℃ |
2700 |
Felexurální síla |
MPa (RT 4-bodové) |
415 |
Youngův modul |
Gpa (4pt ohyb, 1300℃) |
430 |
Tepelná expanze (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Tepelná vodivost |
(W/mK) |
300 |
Vlastnosti vstupních kroužků MOCVD
- Dobrá hustota a může hrát dobrou ochrannou roli ve vysokoteplotním a korozivním pracovním prostředí.
- Vysoký bod tání, odolnost proti oxidaci při vysokých teplotách, odolnost proti korozi.